一种蓝宝石单晶炉保温结构制造技术

技术编号:8956687 阅读:223 留言:0更新日期:2013-07-25 01:40
本发明专利技术提供了一种蓝宝石单晶炉保温结构。该蓝宝石单晶炉保温结构包括炉盖下氧化锆纤维砖保温结构、上隔热屏氧化锆纤维砖结构、侧隔热屏氧化锆纤维砖结构和下隔热屏氧化锆纤维砖结构。本发明专利技术能够有效利用热能,减少热量损失,增强保温效果,建立合理温度梯度,使温场更加易于调节,解决传统泡生法单晶炉中热能利用率低,使用的钼隔热屏结构在高温环境下挥发、变形,使用寿命短等问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种晶体生长炉中的热场结构,具体涉及一种冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石的单晶炉中的保温结构。
技术介绍
蓝宝石单晶具有优异的光学、机械、化学和电性能,从0.190^5.5 μ m波段均具有较高的光学透过率,可在接近2000°C高温的恶劣条件下工作,被广泛用作各种光学元件、红外军事装置、空间飞行器和高强度激光器的窗口材料。尤其因具有优异的综合性能,成为目前LED用半导体衬底的首选材料。蓝宝石具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点,成为近年国内外研究开发和产业化热点。随着科学技术的发展,人们对蓝宝石的质量和尺寸提出了更高的要求,在保证晶体内部质量和成品率的基础上,还必须通过各种途径进一步降低成本。蓝宝石单晶产品是否具有市场竞争力,晶体生长设备的设计非常重要。 蓝宝石单晶生长设备结构合理是生长高品质、大尺寸蓝宝石单晶的前提条件。只有温场合理,才有可能有效控制晶体径向和轴向的温度梯度,生长出形状理想、内部缺陷少的高品质蓝宝石单晶。为防止热量散失,形成合理温场,单晶炉内各方向都进行了热防护,形成了上部、底部、侧面保温结构,当然,从保温结构来看,降低生产成本的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石单晶炉保温结构,其特征在于它包括炉盖下氧化锆纤维砖保温结构、上隔热屏氧化锆纤维砖结构、侧隔热屏氧化锆纤维砖结构和下隔热屏氧化锆纤维砖结构,炉盖下氧化锆纤维砖保温结构包括设置于大炉盖下的氧化锆纤维砖圆环保温层;上隔热屏氧化锆纤维砖结构包括圆形支撑结构与上部钼隔热屏,上部钼隔热屏由多层钼片组成,在圆形支撑结构与钼片之间有与钼片直径相同的第一氧化锆保温层,第一氧化锆保温层为扇形氧化锆纤维砖拼接成的圆环形块体;侧隔热屏氧化锆纤维砖结构包括多层不同直径的氧化锆保温桶,每层氧化锆保温桶在高度方向上由多层氧化锆纤维砖环瓣拼接的圆环组成;下隔热屏氧化锆纤维砖结构包括第二氧化锆保温层和下部钼隔热屏,下...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:左洪波杨鑫宏张学军丁广博
申请(专利权)人:哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1