【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉
，特别涉及一种新型热屏总成及其新型热屏装置。
技术介绍
热屏是单晶炉热场不可缺少的部分，俗称导流筒，在拉晶的过程中，热屏的主要作用是引导气流，使晶体周围快速冷却，从而提闻晶体的生长速度。为了进一步提闻晶体的生长速度，还可以在热屏内侧增加钥片装置，以进一步减少加热器对晶棒的热辐射。热屏包括热屏内筒和热屏外筒，请参阅图1，热屏内筒01为上大下小的中空锥形结构，其内壁具有光滑的锥度。目前通用的方法是将钥片02卷成和热屏内筒01的内壁结构类似的椎体，垂直放到热屏内筒01的内侧，由于热屏内筒01特殊的锥体结构，钥片02恰好可以架在热屏内筒01的内壁上。但是目前这种钥片02的使用方式对钥片02的使用寿命有很高的要求，钥片02在卷制好架在热屏内筒01的内壁上使用一段时候后，就会变脆，用手轻轻一捏就可掰下一小片，并且在使用一段时候后，钥片02在高温下，可能会断裂或者掉渣，也就是下沿可能会脱落，这样的话钥片02的碎片渣掉到装满硅料溶液的石英坩埚里面，会直接影响成晶率，甚至有可能无法拉出单晶棒。因此，目前单晶炉使用的热屏不能够满足盛放钥片的需求，如何改进热屏...
【技术保护点】
一种新型热屏装置，包括热屏外筒和热屏内筒（11），其特征在于，所述热屏内筒（11）的内壁沿周面开设有用于装载钼片（12）的安装槽。
【技术特征摘要】
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