【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具有良好的抗磨损性和良好的透明性的减反射膜和该减反射膜的制备方法。
技术介绍
为了抑制在光学器件的光入射和射出界面处的光反射,以往已知通过将各自具有不同折射率的单层或多层光学膜层叠来形成减反射膜以使该减反射膜具有几十至几百纳米的厚度。为了形成这样的减反射膜,使用真空成膜法例如气相沉积或溅射或者湿式成膜法例如浸涂或旋涂。已知作为用于形成减反射膜的最外层的材料,使用具有低折射率的透明材料,其选自无机材料例如二氧化硅、氟化镁和氟化钙以及有机材料例如有机硅树脂和无定形氟树脂。近年来,已知为了 实现较低的反射率,将利用了空气的折射率1.0的低折射率膜用于减反射膜。通过在层中形成空隙,能够使二氧化硅或氟化镁的层的折射率减小。例如,通过在其中形成占薄膜的体积的30%的空隙,氟化镁的薄膜的折射率,即1.38能够减小到1.27。已知通过采用形成空隙的方法来设置具有低折射率的减反射膜,该形成空隙的方法包括用粘结剂将二氧化硅或氟化镁的细颗粒形成为膜和在该细颗粒之间的粘结剂中形成空隙(专利文献I和2)。而且,作为另一个形成空隙的方法,已知包括通过使用中空二氧化硅颗粒而在颗 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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