The invention discloses a manipulator, including the main manipulator and mounted on the master manipulator of the vice manipulator, the master manipulator comprises a main connector main cylinder, mounted on the main cylinder and mounted on the main connection of the main suction on the mechanical side; hand side connector including cylinder, side mounted on the side of the cylinder and mounted on the connector on the side suction side. Compared with the prior art, the manipulator of the invention realizes the purpose of grabbing a plurality of specifications of monocrystalline silicon.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种机械手，尤其涉及一种用于抓取单晶硅的机械手。
技术介绍
在生产制造硅片时，需要将用来固定单晶硅的晶硅夹具、树酯以及单晶硅通过胶水按序粘接起来。目前，在国内，将所述晶硅夹具、树酯以及单晶硅粘接起来是通过手工来实现的。这样使得硅片的生产效率比较低下、生产成本较高，不利于实现硅片的大规模生产。而要实现硅片的大规模自动化生产，则必须解决单晶硅的取放问题。现有的用来抓取单晶的机械手只能抓取一种规格的，对于不符合标准规格的小单晶硅则抓不起来。鉴于上述问题，有必要提供一种机械手，以解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术解决的技术问题是提供一种机械手，该机械手能够抓取两种不同规格的单晶硅。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是这样实现的: 一种机械手，包括主机械手以及安装在所述主机械手上的副机械手，所述主机械手包括主气缸、安装在所述主气缸上的主连接件以及安装在所述主连接件上的主吸盘；所述副机械手包括副气缸、安装在所述副气缸上的副连接件以及安装在所述副连接件上的副吸盘。进一步地,所述副气缸在安装在所述主连接件的一侧。进一步地，所述主吸盘的数量为三。进一步地，所述副吸盘的数量为二。本专利技术的有益效果是:相较于现有技术，本专利技术所述机械手实现了抓取多种规格单晶硅的目的。附图说明图1为本专利技术机械手的立体示意图。具体实施例方式为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述。请参阅图1所示，本专利技术机械手100包括主机械手10以及安装在所述主机械手10上的副机械手20。所述主机械手...
【技术保护点】
一种机械手，其特征在于：所述机械手包括主机械手以及安装在所述主机械手上的副机械手，所述主机械手包括主气缸、安装在所述主气缸上的主连接件以及安装在所述主连接件上的主吸盘；所述副机械手包括副气缸、安装在所述副气缸上的副连接件以及安装在所述副连接件上的副吸盘。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李佳，
申请(专利权)人：苏州工业园区高登威科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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