一种锆钛酸铅厚膜及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种锆钛酸铅厚膜的制备方法，用于在钛片上生成锆钛酸铅厚膜，该方法具体包括：在高压釜内胆中配置前驱溶液；将钛片垂直浸入前驱溶液中，并将高压釜放入磁力搅拌器中进行磁力搅拌；最后，取出钛片，即可实现在钛片上反应生成锆钛酸铅（PZT）厚膜。本发明专利技术还公开了一种利用上述方法制备的锆钛酸铅厚膜。本发明专利技术发明专利技术的制备过程在液相中一次完成，不需要后期热处理，避免了温度过高导致基板与厚膜之间成分互扩散，而且膜的厚度可以通过重复结晶过程的次数来控制，简单可行，另外所制备的膜不受衬底的尺寸和形状控制，PZT厚膜可以制备在三维结构的表面，而且制备的PZT厚膜表面均匀，成分在准同型相界附近。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于陶瓷厚膜制备领域，具体涉及一种锆钛酸铅(PZT)厚膜的制备方法。
技术介绍
锆钛酸铅(PZT)材料在准同型相界处(Zr/Ti=52/48)表现出优良的压电、铁电、介电性能，用PZT厚膜(一般指厚度大于I μ m的PZT膜)制成的器件不仅工作电压低、使用频率高、能与半导体集成电路兼容，而且具有与压电块材器件相近的电学性能，因此，近年来PZT厚膜在水声、医学超声诊断、MEMS等领域得到广泛应用。锆钛酸铅(PZT)常用的制备方法一般有溶胶凝胶法、丝网印刷法、流延法、电泳沉积法和水热法几种。其中溶胶凝胶法使用的较多，但是使用该方法时，由于有机物较多，易产生气孔，制备的PZT厚膜开裂的几率较大，并且较低的温度容易产生焦绿石杂相，制备的厚膜表面较粗糙，致密度不够好。丝网印刷法技术最为成熟，但是浆料难以混合均匀，后期煅烧温度高于850°c，会导致厚膜与基片的互扩散以及PbO的挥发，影响电性能。流延法与MEMS不兼容，需要将制得的厚膜粘合到衬底上，工艺比较复杂，可靠性不高。电泳沉积法缺点为电场强度较低时效率较低所制备的膜较薄而电场强度较高易导致膜层粗糙开裂，且电极也易发生其它电化学反本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种锆钛酸铅厚膜的制备方法，用于在钛片上生成锆钛酸铅厚膜，其特征在于，该方法具体包括：在高压釜内胆中配置前驱溶液；将所述钛片垂直浸入所述前驱溶液中，并将所述高压釜放入磁力搅拌器中进行磁力搅拌；最后，取出钛片，即可实现在钛片上反应生成锆钛酸铅（PZT）厚膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱本鹏，郭万克，张悦，陈实，杨晓非，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：