【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种微操作作业工具，尤其是涉及一种多指型的MEMS微夹持器。
技术介绍
近年来，自然科学与工程技术发展的一个重要趋势是朝微型化迈进，尤其是随着微纳米技术和超大规模集成电路的迅猛发展，微型化的器件和产品受到了广泛关注。对于微小物体来说，对其加以操作要比直接观察它们复杂得多。由于尺度效应和表面效应，微观粘着力起主导作用，使得操作过程变得十分复杂，尤其是对释放操作影响最大，往往造成最终操作失败。微机电系统(全文均简称MEMS)是指可批量制作、集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路以及接口、通信和电源等于一体的微系统。MEMS不仅可以降低系统成本，而且还可以完成许多传统的大尺寸机电系统所无法完成的任务，如微观对象灵活操作。微夹持器是MEMS的关键组成部分，是沟通宏观与微观世界的基本工具，在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用。集成化的微操作作业系统，是人们深入探索微观世界不可缺少的重要工具，其中微操作手是微操作系统末端直接与操作对象作用的部件，要求其在操作过程中不能对操作对象造成损害，而且还必须具有克服微观粘着等因素影响的功能...
【技术保护点】
一种多指型微夹持器，设于一硅基体上，所述多指型微夹持器包括静电驱动结构、末端夹持结构，其特征在于：所述多指型微夹持器还包括辅助指结构，所述静电驱动结构包括平面梳齿静电驱动结构及驱动辅助指结构动作的竖直交错梳齿结构，所述平面梳齿静电驱动结构包括第一静电驱动器及在第一静电驱动器的作用下做夹持或松开微小对象的两个夹持臂，所述竖直交错梳齿结构包括与辅助指结构连接的连接部及驱动辅助指结构摆动的第二静电驱动器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈涛，刘吉柱，潘明强，王阳俊，汝长海，陈立国，孙立宁，范立成，孙荣川，郁树梅，刘楠，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：实用新型
国别省市：
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