一种电湿活塞式光开关制造技术

电湿活塞式光开关采用上盖板（1）、平板波导基底（2）、电湿活塞内芯（3）、下盖板（4）结构。其中，平板波导基底（2）上设置网状波导结构（6），波导交叉节点处设有三角形或其它形状的波导节点微液腔（7）；平板波导基底（2）下方的电湿活塞内芯（3）是具有圆锥状或其它形状电湿驱动通孔（8）且设有控制电路（9）的平板，其表面设有导电层、绝缘层和疏水层；下盖板（4）上设有凸起柱（10）和带弹性膜的压强平衡孔（11），与电湿活塞内芯（3）经粘胶（17）胶合后形成弹性液盒，用于存储导电流体（12）和折射率匹配液（13）；在上盖板上设有与波导节点微液腔（7）、电湿驱动通孔（8）一一对应的气穴（5）以提供气室和气压。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种新颖的电控活塞式光开关结构及其工作原理，属于光通信的

技术介绍
中国的光通信市场的网络光化发展趋势将持续向用户端延伸，FTTH普及只是时间问题，全光通信网的时代正在到来。随着光通信带宽需求的不断增长，未来光网络不仅需要支持大容量的传输，还需要提升交换容量，而全光交换技术是近一步提升交换容量的关键所在，是未来全光网络的发展趋势。在全光网中，光分插复用器件(OADM)和光交叉连接(OXC)是不可缺少的网络节点设备，而大容量的光路可调器件一全光开关则是这些设备中的核心器件。就目前的光开关发展现状而言，其主要类型有微电子机械系统(MEMS)开关和波导开关。MEMS开关工艺成熟，已经实现了大端口数目的开关阵列。但MEMS利用移动部件实现光在不同埠间的转换，在可靠性和开关速度、器件大小方面都不尽人意。波导型光开光开关速度快，结构紧凑，将是未来光开关的发展方向。在高速开关的研究方面，虽然不少波导型电光开关的速度理论上可以达到ns量级，但实际制作的ns开关速度的器件却报导不多，因传统的电光开关是利用电光效应，即通过施加一个电场来产生材料折射率的相应变化，从而可以方便地控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电湿活塞式光开关，结构包括平板波导基底（2），其特征在于：还包括上盖板（1）、电湿活塞内芯（3）、下盖板（4）的结构；平板波导基底（2）与电湿活塞内芯（3）位于上下盖板之间，形成双层三明治夹心结构；其中，平板波导基底（2）上设置网状波导结构（6），波导交叉节点处设有波导节点微液腔（7）；平板波导基底（2）下方的电湿活塞内芯（3）是设有与波导节点微液腔（7）相通的电湿驱动通孔（8）和控制电路（9）的平板，为光开关节点控制提供驱动力，电湿驱动通孔（8）另一面连通弹性液盒；上盖板（1）设置有与波导节点微液腔（7）相对应的气穴（5）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈陶，梁忠诚，徐荣青，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：发明
国别省市：