【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种，属于电化学加工
技术介绍
LIGA技术是80年代初由德国Karlsruhe研究中心专利技术并取得专利的一种高深宽比微细结构加工技术，由X射线光刻、电铸成型和塑铸成型等三个主要工艺步骤组成。LIGA技术是重要的微机械加工技术之一，但由于该技术强烈依赖昂贵而稀缺的同步辐射X射线光源和制作复杂的掩模板，工艺成本极其昂贵，使得该种制造方法很难推广应用。为克服LIGA工艺技术的缺陷，出现了准LIGA技术，又称为UV-LIGA技术，以光刻胶为光敏材料、常规紫外光为曝光光源的UV-LIGA技术，是一种被学术界和产业界广泛关注的成本低、材料选择范围宽的高深宽比微结构制造技术。不管LIGA技术还是UV-LIGA技术，制作高质量的胶模以及合理控制电铸过程并得到高质量的电铸结构表面是该技术成功`应用的前提。因此该工艺要重点解决两个方面问题: 一方面是深度同步辐射光刻:只有它刻蚀出比较理想的图形，才能保证后续工艺的产品质量，得到较为理想的具有较大深宽比的三维微细结构。但是目前在保证微结构的尺寸精度上存在一些工艺难点，其影响因素为:(I)光刻中，掩模板上的...
【技术保护点】
一种正向冲液的微细电铸装置，包括电沉积系统、加热温控系统（1）、电解液循环系统，其中电沉积系统包括电铸槽（2）、直流电源（3）、阳极（8）、阴极基片（12）、微结构胶模（13）；????其特征在于：????上述电解液循环系统包括正向冲液机构；该机构包括冲液泵（6）、阳极垫（7）、阳极垫板（9）、调节垫片（10）、阴极垫板（11）；????其中阳极垫板（9）安装于阳极垫（7）下方，阳极垫板（9）和阳极垫（7）形成阳极夹具，所述阳极（8）安装于阳极垫板（9）和阳极垫（7）之间，阳极垫（7）具有与冲液泵（6）相连的进液孔（14），阳极垫板（9）具有均匀分布的阳极流道（15）；其中...
【技术特征摘要】
1.一种正向冲液的微细电铸装置，包括电沉积系统、加热温控系统(I)、电解液循环系统，其中电沉积系统包括电铸槽(2)、直流电源(3)、阳极(8)、阴极基片(12)、微结构胶模(13)；其特征在于:上述电解液循环系统包括正向冲液机构；该机构包括冲液泵(6)、阳极垫(7)、阳极垫板(9)、调节垫片(10)、阴极垫板(11)； 其中阳极垫板(9)安装于阳极垫(7)下方，阳极垫板(9)和阳极垫(7)形成阳极夹具，所述阳极(8)安装于阳极垫板(9)和阳极垫(7)之间，阳极垫(7)具有与冲液泵(6)相连的进液孔(14)，阳极垫板(9)具有均匀分布的阳极流道(15)； 其中阴极基片(12)固定于阴极垫板(11)上，阴极基片(12)上具有微结构胶模(13)该微结构胶模的结构正角角度为88° ±0.50° ;阴极垫板(11)上具有阴极流道(16); 其中调节垫片(10)安装于阳极夹具和阴极垫板(11)中间。2.利用权利要求1所述的正向冲液的微细电铸装置的微细电铸方法，其特征在于包括以下过程: 步骤1、对阴极基片(1...
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