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本发明涉及一种正向冲液的微细电铸装置及其微细电铸方法，属于电化学加工技术领域。本发明通过光刻工艺和电铸过程双重控制，提高电铸微结构侧壁垂直度；合理选择控制曝光参数，使光刻后胶模形成预设的正角结构；化学本发明的方法及装置对提高微结构侧壁垂直度...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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