【技术实现步骤摘要】
单晶炉及其下保温筒
本技术涉及单晶炉
,更具体地说,涉及一种单晶炉的下保温筒,本实 用新型还涉及一种具有上述下保温筒的单晶炉。
技术介绍
单晶炉上是采用直拉法生产单晶硅的主要设备。在单晶炉中设置有保温筒,其 为单晶炉内部热场的重要组成部分,为石墨材质,一般在保温筒外侧面裹有一定厚度的碳 毡用于对单晶炉内的热场进行保温,依据其所处热场的位置不同而分为上、中、下三种保温筒。其中,下保温筒设置在靠近单晶炉炉底的部位,位于热场的下部,其侧壁上设置有 两个排气口 01,缠绕在下保温筒外壁上的碳毡02在与排气口对应的部位开有通孔03,一定 厚度的碳毡02上的通孔03和排气口 01组成了导出热场中高温气流的通道,如图1所示。 在单晶炉进行生产的过程中,需要不断的将热场中的高温气流从排气口和通孔形成的通道 中输出单晶炉,长时间运行后形成通道的碳毡会与高温气流中的硅蒸汽发生化学反应,导 致碳毡被腐蚀,通孔的直径将越来越大,直接影响了保温筒保温的效果,使单晶炉运行的功 率升高,增加了单晶炉消耗的电能,同时也使下保温桶的排气口与炉体的出气口之间产生 了较大的距离,影响了单 ...
【技术保护点】
一种单晶炉的下保温筒,包括本体(1)、排气口(2)和具有排气通孔的碳毡(3),其特征在于,还包括连接在所述本体(1)上,且位于所述排气口(2)和排气通孔内的排气导管(4)。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉的下保温筒,包括本体(I)、排气口(2)和具有排气通孔的碳毡(3),其特征在于,还包括连接在所述本体(I)上,且位于所述排气口(2)和排气通孔内的排气导管(4)。2.根据权利要求1所述的单晶炉的下保温筒,其特征在于,所述排气导管(4)远离所述本体(I)的一端伸出所述排气通孔。3.根据权利要求1所述的单晶炉的下保温筒,其特征在于,所述排气导管(4)远离所述本体(I)的一端与所述碳毡(3)的外侧面齐平。4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:白剑铭,
申请(专利权)人:英利能源中国有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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