高纯氧提纯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高纯氧提纯装置，包括水分干燥塔，氮气催化塔，二氧化碳催化塔，过滤器，产品缓冲罐，真空泵，所述水分干燥塔出口阀门与氮气催化塔进口阀门相连，氮气催化塔出口阀门与二氧化碳催化塔进口阀门相连，所述过滤器分为一级过滤器和二级过滤器，所述二氧化碳催化塔出口阀门与一级过滤器进口阀门相连，一级过滤器出口阀门与二级过滤器进口阀门相连，二级过滤器出口阀门与产品缓冲罐进口阀门相连，所述二氧化碳催化塔出口阀门与真空泵相连，采用该装置，提供了一种简便、有效制备高纯氧新方法，本实用新型专利技术投资少、体积小、质量轻，能有效的去除了电解水制氧氧气中的杂质，获得的氧气纯度达到99.9995%以上，满足了工业生产对于高纯氧的要求。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用电解水制氧提纯高纯氧的装置，特别涉及一种用电解水制氢阴极气体提纯高纯氧的装置。
技术介绍
一般高纯氧制取都是以电解水获得氧气经过脱氢除水工艺获得。但电解水工艺采用的原料是经反渗透及离子交换所得的纯净水，所得氧气中的气体杂质主要是溶解在水中的空气，因此电解水产生的氧气中主要杂质是氢气、氮气、水分、二氧化碳和甲烷等杂质，其中氮气、二氧化碳、甲烷比较难深度吸附。经过电解净化目前氧气浓度为99.5%左右，属于高纯氧优等标准。其中氮气、水分、固体颗粒物以及二氧化碳等杂质的含量较高，只能满足最基本的工业需求。对于一些特殊行业，例如二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合进行等离子刻蚀等领域，则需要使用大量的高纯氧。然而电解水制氧氧气远远达不到高纯氧的技术指标，且电解水制氧氧气附加值较低。
技术实现思路
为了克服上述缺陷，提高电解水制氧所得氧气的附加值，满足高纯氧的市场需求，抢占高纯气体市场制高点，本技术提供了一种用电解水制氧提纯高纯氧的装置，为电解水制取高纯氧提供了一种高效、实用的新方法。本技术的技术方案是:一种高纯氧提纯装置，包括水分干燥塔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高纯氧提纯装置，包括水分干燥塔，氮气催化塔，二氧化碳催化塔，过滤器，产品缓冲罐，真空泵，其特征是所述水分干燥塔出口阀门与氮气催化塔进口阀门相连，氮气催化塔出口阀门与二氧化碳催化塔进口阀门相连，所述过滤器分为一级过滤器和二级过滤器，所述二氧化碳催化塔出口阀门与一级过滤器进口阀门相连，一级过滤器出口阀门与二级过滤器进口阀门相连，二级过滤器出口阀门与产品缓冲罐进口阀门相连，所述二氧化碳催化塔出口阀门与真空泵相连。

【技术特征摘要】
1.一种高纯氧提纯装置，包括水分干燥塔，氮气催化塔，二氧化碳催化塔，过滤器，产品缓冲罐，真空泵，其特征是所述水分干燥塔出口阀门与氮气催化塔进口阀门相连，氮气催化塔出口阀门与二氧化碳催化塔进口阀门相连，所述过滤器分为一级过滤器和二级过滤器，所述二氧化碳催化塔出口阀门与一级过滤器进口阀门相连，一级过滤器出口阀门与二级过滤器进口阀门相连，二级过滤器出口阀门与产...

【专利技术属性】
技术研发人员：金向华，冉康德，陈琦峰，
申请(专利权)人：苏州金宏气体股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：