长环形直线行波超声电机精密进给装置制造方法及图纸

一种长环形直线行波超声电机精密进给装置，解决了现有超声电机精密进给装置存在的难以实现同一频率下的两正交模态及寿命问题；本实用新型专利技术包括底座、长环形超声电机振子、动子及工作台，工作台与动子固定在一起，长环形超声电机振子固定在底座上作为定子，并与动子相接触，所述的长环形超声电机振子由金属弹性体和压电陶瓷片构成，其特殊之处是，在金属弹性体的两个直梁段的外侧对称设置有若干个齿，压电陶瓷片为两片，每片采用多极化分区，对称粘贴在两个直梁段内侧，在底座上还有与动子运动方向相同的直线导轨，在工作台上有与直线导轨相配的滑座；本实用新型专利技术易于实现同一频率下两正交模态，进给速度易于调整，适合于精密驱动，使用寿命长。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于一种超声频压电驱动装置，特别涉及一种长环形直线行波超声电机精密进给装置。
技术介绍
随着现代制造技术的发展以及工业装备自动化程度的提高，超精密加工成为制造业中的前沿科学，受到人们的关注。高精度微量进给装置现在已成为超精机床的一个重要的关键装置。长期以来，机床的进给系统主要是“旋转伺服电动机+滚珠丝杠”，这种进给系统由于从电动机主轴到工作台之间存在联轴节、丝杠、螺母、轴承、支架等一系列中间环节，当进给部件要完成启动、加减速、反转、停车等动作时，这些机械元件产生的弹性变形、摩擦、反向间隙等，都会造成进给运动的滞后和其它许多非线性误差，同时，这些中间环节也加大了系统的惯性质量，影响了对运动指令的快速响应。另外，丝杠是细长杆，在力和热的作用下，会产生变形，影响加工精度。因此，传统的机床进给系统已经不能适应现代工业装备的要求。直线超声电机是利用压电元件激励出振子超声频域共振，借助摩擦力来驱动移动体，是近年来出现的一种全新原理的新型直线电机。相对传统电磁式直线电机，它具有功率密度大、无电磁干扰、低速大扭矩、运行无噪声、起动停止响应快、可直接驱动、断电自锁等卓越优点，较好地弥补了电磁电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种长环形直线行波超声电机精密进给装置，包括底座、长环形超声电机振子、动子及工作台，工作台与动子固定在一起，长环形超声电机振子固定在底座上作为定子，并与动子相接触，所述的长环形超声电机振子由金属弹性体和压电陶瓷片构成，其特征在于，在金属弹性体的两个直梁段的外侧对称设置有若干个齿，压电陶瓷片为两片，每片采用多极化分区，对称粘贴在两个直梁段内侧，在底座上还有与动子运动方向相同的直线导轨，在工作台上有与直线导轨相配的滑座。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏祥，何勍，
申请(专利权)人：辽宁工学院，
类型：实用新型
国别省市：21[中国|辽宁]