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长环形直线行波超声电机精密进给装置制造方法及图纸
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下载长环形直线行波超声电机精密进给装置的技术资料
文档序号:877972
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一种长环形直线行波超声电机精密进给装置,解决了现有超声电机精密进给装置存在的难以实现同一频率下的两正交模态及寿命问题;本实用新型包括底座、长环形超声电机振子、动子及工作台,工作台与动子固定在一起,长环形超声电机振子固定在底座上作为定子,并与...
该专利属于辽宁工学院所有,仅供学习研究参考,未经过辽宁工学院授权不得商用。
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