下载长环形直线行波超声电机精密进给装置的技术资料

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一种长环形直线行波超声电机精密进给装置,解决了现有超声电机精密进给装置存在的难以实现同一频率下的两正交模态及寿命问题;本实用新型包括底座、长环形超声电机振子、动子及工作台,工作台与动子固定在一起,长环形超声电机振子固定在底座上作为定子,并与...
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