致动器支承结构及泵装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种致动器支承结构及泵装置。压电泵（1）包括板簧（15）。板簧（15）包括构成致动器（3）的圆板部（24）、构成壳体（2）的外框部（23）、及弹性支承部（4）。致动器（3）从主面的中心到外周进行弯曲振动。弹性支承部（4）包括梁部（25）和连结部（26、27、28）而构成，并使圆板部（24）弹性支承在外框部（23）上。梁部（25）在圆板部（24）与外框部（23）之间的间隙中在沿着圆板部（24）的外周的方向上延伸。连结部（26）将梁部（25）与圆板部（24）连结。连结部（27、28）设置在偏离连结部（26）的位置上，并将梁部（25）与外框部（23）相连结。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对进行弯曲振动的致动器进行支承的致动器支承结构、以及包括该致动器支承结构来输送流体的泵装置。
技术介绍
对于燃料电池系统的空气输送用等，已开发有使用进行弯曲振动的致动器来控制流体的流动的薄型的泵装置(例如，参照专利文献I)。图1是说明现有的泵装置的结构例及其动作的图。泵装置100包括:由振动板111及压电元件112所构成的致动器110 ;以及与振动板111接近且相对配置的相对板101。振动板111为金属制，整个外周部固定在相对板101上。压电元件112被粘贴在振动板111的中央部。相对板101在与致动器110的中央相对的位置上形成有第一开口 102，在偏离致动器110的压电元件112并相对的位置上形成有第二开口 103。该泵装置中，若将规定频率的电压施加于压电元件112，则振动板111以三阶谐振模态进行谐振，在振动板111上，与第一开口 102相对的部分和与第二开口 103相对的部分朝相反的方向弯曲变形。通过重复该弯曲变形，泵装置100从第一开口 102及第二开口 103中的一个开口吸入流体，从另一个开口排出流体。现有技术文献专利文献专利文献1:国际公开W02008 本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：平田笃彦，儿玉幸治，大森健太，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：
国别省市：