下载致动器支承结构及泵装置的技术资料

文档序号:8777592

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本发明提供一种致动器支承结构及泵装置。压电泵(1)包括板簧(15)。板簧(15)包括构成致动器(3)的圆板部(24)、构成壳体(2)的外框部(23)、及弹性支承部(4)。致动器(3)从主面的中心到外周进行弯曲振动。弹性支承部(4)包括梁部(...
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