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致动器支承结构及泵装置制造方法及图纸
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文档序号:8777592
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本发明提供一种致动器支承结构及泵装置。压电泵(1)包括板簧(15)。板簧(15)包括构成致动器(3)的圆板部(24)、构成壳体(2)的外框部(23)、及弹性支承部(4)。致动器(3)从主面的中心到外周进行弯曲振动。弹性支承部(4)包括梁部(...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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