三塔精馏制取7N光电子级超高纯氨的方法技术

技术编号：8759758 阅读：442 留言：0更新日期：2013-06-06 19:52

本发明专利技术由99.9％工业液氨采用三塔精馏的方法制取99.99999％光电子级超高纯氨。第一级精馏塔可在塔釜除去氨中水分，高沸物和金属杂质。第二级精馏塔可在塔顶除去轻组分H2、O2、N2、CH4、CO、CO2等。第三级精馏塔可进一步在塔釜除去氨中水分等重组分，在塔顶除去氨中轻组分，然后得到7N光电子级超高纯氨。采用催化吸附法除去氨中水和氧等过程中，有可能带入新的化学杂质和颗粒，本发明专利技术可以尽量避免外来污染，达到光电子半导体外延所需的更优良的超高纯氨。