MOCVD生长氮化镓晶片的尾气处理、回收和循环使用装置主要包括：MOCVD装置(1)、精密过滤器(2)、压缩机(3)、氨分离器(4)、液氨钢瓶(5)、氨纯化装置(6)、钯管纯化器(7)。来自MOCVD生长氮化镓半导体发光材料产生的含氨、...

本实用新型涉及一种精馏分离生产超纯氨的系统。其主体包括二个精馏塔，配有二个冷凝器和二个再沸器。本实用新型以99.9％工业液氨为原料，通过第一级精馏塔在塔釜除去氨中水份、高沸物和金属杂质等，通过第二级精馏塔在塔顶除去H2、N2、O2、CO...

7N超高纯液氨无泵充瓶装置，它涉及光电子级超高纯液氨的充瓶装置和方法。它包含产品罐、气化器、气化器液位计、气化器进氨阀、气化器加热器、气化器控温仪、产品罐压力传感器、产品罐液位计、液氨进料阀、充瓶阀和充瓶系统等。本专利采用气化器加热器加...

本发明用于蓝光LED在MOCVD设备上生长氮化镓半导体发光外延片时所产生的尾气的处理方法。目前采用的燃烧分解法和化学吸收法操作费用和化学品消耗费用较高，本发明旨在回收尾气中超高纯氨等核心材料。变废为宝，实现闭路循环的绿色生产。

本发明由99.9％工业液氨采用三塔精馏的方法制取99.99999％光电子级超高纯氨。第一级精馏塔可在塔釜除去氨中水分，高沸物和金属杂质。第二级精馏塔可在塔顶除去轻组分H2、O2、N2、CH4、CO、CO2等。第三级精馏塔可进一步在塔釜除...

一种超高纯氨生产装置，它涉及高纯光电子特气制取技术领域。液氨贮槽与液氨泵的一端连通，液氨泵的另一端与气化器的一端连通，气化器的另一端与除油器的一端连通，除油器的另一端与预纯化装置的一端连通，预纯化装置的另一端与第一精馏塔连接，第一精馏塔...

一种超纯氨纯化装置的废气处理方法，它涉及超高纯氨纯化装置的含氨废气的处理方法，它的处理装置包含催化吸附系统、精馏塔、冷凝器、氨分解炉、废气塔，催化吸附系统分别与精馏塔和废气塔连接，精馏塔与冷凝器连接，冷凝器与氨分解炉连接，氨分解炉与精馏...

一种超高纯氨现场纯化供气装置，其特征在于它涉及光电子高纯材料的纯化技术领域，它包含进气纯化装置(1)、二级精馏装置(2)、出气纯化装置(3)和输气管道(4)，进气纯化装置(1)、二级精馏装置(2)和出气纯化装置(3)通过输气管道(4)依...

超纯氨免污染充装方法，它涉及超高纯电子气体的纯化和充装技术领域。它包含产品罐、热水器、温控仪、充装钢瓶。产品罐分别与热水器和充装钢瓶连接，温控仪与热水器连接；本发明采用热水器，用电加热或蒸汽加热的方法把热水的温度升高，然后通过热水器把热...