超纯氨纯化装置的废气处理方法制造方法及图纸

一种超纯氨纯化装置的废气处理方法，它涉及超高纯氨纯化装置的含氨废气的处理方法，它的处理装置包含催化吸附系统、精馏塔、冷凝器、氨分解炉、废气塔，催化吸附系统分别与精馏塔和废气塔连接，精馏塔与冷凝器连接，冷凝器与氨分解炉连接，氨分解炉与精馏塔连接。它能使残留氨的含量大大降低，符合国家排放标准，经过这种尾气处理系统处理后的尾气主要是一种氢氮混合气，是理想的催化吸附系统再生工艺用气，用于还原催化脱氧剂和吹扫吸附干燥剂，节省了催化吸附系统再生工艺用气的辅料消耗，降低生产成本，保证超高纯氨产品品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及超高纯氨纯化装置的含氨废气的处理方法，具体涉及超纯氨纯化装置的废气处理装置及处理方法。
技术介绍
氨不仅是一种非常重要的工业基础材料，还被广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器IXD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业。普通的一级品工业氨(纯度99. 8% )远不能满足光电子行业的需求，氨的纯度必需达到99. 999% (5N)或99. 9999% (6N)，甚至99. 99999% (7N)以上。氨中的各种杂质必需控制在ppm、ppb甚至是ppt数量级，这对氨的纯化技术和检测技术提出了很大的挑战。近年来，随着全球石油等能源资源逐渐减少，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，重点关注低碳经济。在此背景之下，我国的太阳能电池和LED技术及相关产业得到了迅猛发展。在生产制造太阳能电池及LED芯片过程中，都需要用到大量的超纯氨作为氮源，尤其是LED芯片在生长时，所用的氨的纯度越高，制备的LED功耗越小，发光强度越大。 (太阳能电池和LED
中各种所需氨的技术指标见图1)新动力光电采用新颖和先进的多级组合氨纯化工艺和相关专利技术利用纯度为 99. 8%工业一本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．超纯氨纯化装置的废气处理方法，其特征在于它的处理装置包含催化吸附系统（１）、精馏塔（２）、冷凝器（３）、氨分解炉（４）、废气塔（５），催化吸附系统（１）分别与精馏塔（２）和废气塔（５）连接，精馏塔（２）与冷凝器（３）连接，冷凝器（３）与氨分解炉（４）连接，氨分解炉（４）与精馏塔（２）连接。

【技术特征摘要】
1.超纯氨纯化装置的废气处理方法，其特征在于它的处理装置包含催化吸附系统(1)、精馏塔O)、冷凝器(3)、氨分解炉G)、废气塔(5)，催化吸附系统(1)分别与精馏塔(2)和废气塔( 连接，精馏塔( 与冷凝器C3)连接，冷凝器C3)与氨分解炉(4)连接，氨分解炉(4)与精馏塔(2)连接。2.根据权利要求1所述的超纯氨纯化装置的废气处理方法，其特征在于它的处理方法为原料氨气经催化吸附系统(1)，除去氨气中杂质氧和水，然后进入精馏塔0)，在塔顶部的冷凝器C3)排放氨中轻组分杂质，该含氨...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴纳新，
申请(专利权)人：吴纳新，
类型：发明
国别省市：32