【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种基于热位移的微进给系统。
技术介绍
在超高精密加工中，国内生产的精密机床，其加工精度与国外相比有一定的差距，制约提高我国超精加工精度的因素较多，如环境温度的影响、导轨的变形、回转体的跳动等等，而微进给机构的进给精度没有达到应有要求，也是影响超精加工发展的关键因素之一。尽管国内对微进给机构作了大量的研究，仍然存在一些问题。如压电陶瓷产生的进给力太小，磁致伸缩转换器成本太高，而且存在热位移补偿等复杂问题。针对当前微进给系统存在的问题，提出基于热位移的微进给系统。
技术实现思路
本专利技术提供一种基于热位移的微进给系统。它具有一级进给装置和二级进给装置，一级进给装置和二级进给装置都在恒温室内，一级进给装置采用滚珠丝杆，二极进给装置在微位移工作腔壳体内，它具有变形体，变形体上设有前、后两定位块，定位块上、下设有隔热板，前、后两隔热板上分别设有前压力调节螺丝、后压力调节螺丝，在变形体上间隔设有冷源热源驱动器，冷源热源驱动器相应处设有温度感知器，变形体一端设有位移感知器。本专利技术的优点是1)在微进给机构中，直接用变形体的热位移作为微进给，从而消除大部分链路...
【技术保护点】
一种基于热位移的微进给系统，其特征在于它具有一级进给装置［９］和二级进给装置［７］，一级进给装置和二级进给装置都在恒温室［１３］内，一级进给装置采用滚珠丝杆［１０］，二极进给装置在微位移工作腔壳体［１１］内，它具有变形体［５］，变形体上设有前、后两定位块［１２］，定位块上、下设有隔热板［１］，前、后两隔热板上分别设有前压力调节螺丝［４］、后压力调节螺丝［２］，在变形体上间隔设有冷源热源驱动器［３］，冷源热源驱动器相应处设有温度感知器［８］，变形体一端设有位移感知器［６］。
【技术特征摘要】
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