【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机电系统，包括：膜结构；以及背板结构，包括背板材料以及机械地连接到所述背板材料的至少一个预张紧元件，所述至少一个预张紧元件构造为在所述背板材料上形成机械张力以用于使所述背板结构沿着远离所述膜结构的方向弯曲偏转。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：阿尔方斯·德赫，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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