双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器。所述双材料微悬臂梁，设置于一衬底表面，包括：微悬臂梁主体；第一应力凸块，所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的靠近衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的远离衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数；加热器，所述加热器设置在悬臂梁主体内。本实用新型专利技术的优点在于，通过在悬臂梁上设置加热器，并通过对每个微悬臂梁单独提供不同的加热温度，对微悬臂梁之间的响应率和灵敏度的非均匀性加以校正。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于微电子机械系统(MEMS)领域，涉及一种双材料微悬臂梁和电磁辐射探测器。
技术介绍
电磁辐射波谱按照波长或频率可以分为从伽马射线到无线电波的多个连续谱段。人眼所能感知的可见光波段(0.4um-0.8um)是整个电磁波谱中非常窄的一段。对于可见光之外的电磁辐射，人类必需利用各种传感器和探测器来进行检测，通过对这些电磁辐射的检测可以提供可见光图像之外的诸多信息，是对人眼视觉非常有效的补充。电磁辐射探测器的功能是接收电磁辐射，并通过辐射引起的某种物理或化学效应，将接收到的辐射转换为与辐射强度相对应的电信号。由于整个电磁波谱范围非常宽，不同波段的辐射与物质作用时会引起不同的物理、化学效应，所以对不同谱段的电磁辐射往往需要利用不同的探测器来检测。紧邻可见光波段而波长更长的一段电磁辐射(0.8um_1000um)称为红外波段，利用探测目标物体自身发射或者反射的红外辐射而形成的图像称为红外热像。红外热像技术广泛地应用于各种军事及民用领域。在军事领域的应用包括红外搜索与跟踪、红外制导、夜视观瞄、火控、辅助驾驶等。在民用领域，红外热像广泛应用于工业测温、预防性维护、安防监控、医学诊断、房屋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双材料微悬臂梁，设置于一衬底表面，其特征在于，包括：微悬臂梁主体；第一应力凸块，所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的靠近衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的远离衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数；加热器，所述加热器设置在悬臂梁主体内，用于加热所述悬臂梁主体以及所述第一应力凸块，所述加热器进一步设置至少两引脚，所述引脚用于同外界形成电学连接。

【技术特征摘要】
1.一种双材料微悬臂梁，设置于一衬底表面，其特征在于，包括: 微悬臂梁主体； 第一应力凸块，所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的靠近衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的远离衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数； 加热器，所述加热器设置在悬臂梁主体内，用于加热所述悬臂梁主体以及所述第一应力凸块，所述加热器进一步设置至少两引脚，所述引脚用于同外界形成电学连接。2.按权利要求1所述的双材料微悬臂梁，其特征在于，所述微悬臂梁的上表面进一步设置电磁辐射吸收层，所述衬底表面进一步设置电磁辐射反射层。3.按权利要求1所述的双材料微悬臂梁，其特征在于，所述微悬臂梁与衬底之间进一步包括一阻挡凸块，所述阻挡凸块设置在微悬臂梁自由端的靠近衬底一侧的表面上。4.按权利要求1所述的双材料微悬臂梁，其特征在于，所述微悬臂梁与衬底之间进一步包括一阻挡凸块，所述阻挡凸块设置在衬底靠近微悬臂梁自由端的...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜利军，
申请(专利权)人：姜利军，
类型：实用新型
国别省市：