基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器，利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温，微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变，气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化，从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。本发明专利技术原理巧妙，能够通过简单结构将光能转换为热能再转换为动能，实现远程非接触式控制，可望在MOEMS器件等领域获得广泛应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，可作为微光机电系统中的驱动器。
技术介绍
微纳米技术在现代技术发展中扮演着越来越重要的角色，作为其中一个重要分支的 MOEMS (micro-optical-electro-mechanical system)技术得到了迅速的发展，并在诸多领域得到了广泛的应用，而微驱动器正是各种MOEMS器件中的核心部件。按驱动原理的不同，一般驱动器类型有电磁驱动型、静电驱动型、压电驱动型、热膨胀驱动型等，各种驱动器都有自身的优势，也有劣势，比如电磁驱动型、静电驱动型、压电驱动型、电热膨胀驱动型都需要供电电路和控制电路的支持，这些外围电路会造成器件结构复杂、不容易集成、成本高、不能应用于要求电磁屏蔽或远程非接触式控制的场合等问题。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本专利技术提供了一种。—种基于相变作用力的金属微驱动器，金属微驱动器包括微驱动器主体、金属毛细棒、转动轴、充液腔、底座；微驱动器主体侧面均匀开有6个充液腔，充液腔中心线偏离微驱动器中心距离为L，每个充液腔内有2根金属毛细棒连接在微驱动器主体上；微驱动器主体通过下方的转动轴安装在底座上。一种利用所述的金属微驱动器的驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于相变作用力的金属微驱动器,?其特征在于，金属微驱动器（6）包括微驱动器主体（1）、金属毛细棒（2）、转动轴（3）、充液腔（4）、底座（5）；微驱动器主体（1）侧面均匀开有6个充液腔（4），充液腔（4）中心线偏离微驱动器中心距离为L，每个充液腔（4）内有2根金属毛细棒（2）连接在微驱动器主体（1）上；微驱动器主体（1）通过下方的转动轴（3）安装在底座（5）上。

【技术特征摘要】
1.一种基于相变作用力的金属微驱动器，其特征在于，金属微驱动器(6)包括微驱动器主体(1)、金属毛细棒(2)、转动轴(3)、充液腔(4)、底座(5);微驱动器主体(I)侧面均匀开有6个充液腔(4)，充液腔(4)中心线偏离微驱动器中心距离为L，每个充液腔(4)内有2根金属毛细棒(2 )连接在微驱动器主体(1)上；微驱动器主体(1)通过下方的转动轴(3 )安装在底座(5)上。2.一种利用如权利要求1所述的金属微驱动器的驱动装置，其特征在于，它包括微驱动器(6)、液体(7)、样品池(8)、二维可调样品台(9)、照明光源(10)、半透半反镜(11)、聚焦透镜(12)、激光(13)、激光器(14)、Z向可调平台(15)、显微镜物镜(16)、显微镜镜筒(17)、监控CXD (18);微驱动器(6)放置在液体(7)和样品池(8)中，样品池(8)置于二维可调样品台(9)上；照明光源(10)位于二维可调样品台(9)下方；激光器(14)置于Z向可调平台(15)上，发出的激光(13)经过聚焦透镜(12)会聚，再经过半透半反镜(11)反射后聚焦到微驱动器(6)上表面；半透半反镜(11)位于显微镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：张冬仙，史斌，章海军，伊福廷，王波，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：