微型均热板的中间制品制造方法技术

本发明专利技术是利用冲压加工以及蚀刻加工的方式分别完成中间制品的外型以及细微结构体的加工步骤，进而完成可相互贴合成为微型均热板的中间制品，以解决微型均热板中间制品的细微结构体不易利用冲压加工方式制做成型，以及将蚀刻加工应用在中间制品外型加工则成本过高等课题。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微型均热板的中间制品的制造技术，旨在提供一可确保中间制品内部细微结构体的加工精度，并且有效降低整体加工成本的制造方法。
技术介绍
如图1所示，为一普遍应用在微处理器等集成电路的微型均热板10结构剖视图，此微型均热板10是由两个相互对称的中间制品11所贴合固定构成，而使整体微型均热板10的内部密布有细微的均热信道12，藉由均热信道12的细腻分布，而可让填注于其中的流体任意流通，藉以达到令将热源平均分散的目的。又，如图2及图3所示，其微型均热板10主要是在板片状的中间制品11表面加工成型有分布极为细腻的细微结构体13，以期在两个对称的中间制品11贴合时，所对应的细微结构体13能够如图1所示相互对合，亦即让两个中间制品的每一个细微结构体13的间隙相合成为均热信道12，藉以构成完整的微型均热板10结构。类似在金属板体的表面形成有突出结构体的加工方式，虽然可以利用铸模、粉末冶金、冲压加工等传统工法轻易制造成型，但由于微型均热板的体积必须控制在相当细薄的型态，以避免降低集成电路的散热效率，因此微型均热板的中间制品多是以导热性佳的铝、铜薄片为基材，并且必须在厚度细薄的金属基材的表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型均热板的中间制品制造方法，该微型均热板是在板片状的中间制品表面设有分布极为细腻的细微结构体，使在两个中间制品相对应贴合时，所对应的细微结构体能够相互对合，由各细微结构体成为均热信道；其特征在于：各该中间制品的外型是以冲压加工 完成，细微结构体则是以蚀刻加工构成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：卢基盛，
申请(专利权)人：金利精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]