金属陶瓷光学反射镜及其制造方法技术

本发明专利技术公开一种金属陶瓷光学反射镜及其制造方法，为解决现有产品制造周期长且成本高的问题而设计。本发明专利技术金属陶瓷光学反射镜包括金属陶瓷底板、轻量化槽、钝化层、底层金属层、光学层、上层金属层和陶瓷膜。本发明专利技术金属陶瓷光学反射镜制造方法包括步骤：加工金属陶瓷底板、切割外形、加工轻量化槽、热处理、稀土钝化、沉积底层金属层、沉积光学层、预应力热处理、抛光、镀上层金属层和陶瓷膜。本发明专利技术金属陶瓷光学反射镜的主体为金属陶瓷底板结构合理，有效地缩短了生产周期，降低了制造成本。本发明专利技术金属陶瓷光学反射镜制造方法工艺流程简明，所得光学反射镜性能良好，可用于空间遥感器的对地观测，或用于航空对地拍摄或测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
光学反射镜(Front Surface Mirror)是在光学玻璃的前表面镀一层金属银(或铝)薄膜从而使入射光反射的光学元件。采用镀膜膜面反射镜，得到的图象不仅亮度高，而且精确无偏差，画质更清晰，色彩更逼真。前表面反射镜广泛为光学高保真扫描反射成像之作用。优质的光学反射镜要求重量小、尺寸稳定和镜面光学特性好，目前高性能的光学反射镜主要有光学玻璃型、碳化娃反应烧结型和金属铍型三种。三种光学反射镜各有优点，但它们存在共同的缺点:生产制造的周期长且成本高。
技术实现思路
为了克服上述的缺陷，本专利技术提供一种生产制造周期短且成本低的。为达到上述目的，一方面，本专利技术提供一种金属陶瓷光学反射镜，所述反射镜包括金属陶瓷底板，以及依次设置在所述金属陶瓷底板正面的钝化层、底层金属层、光学层、上层金属层和陶瓷膜；在所述金属陶瓷底板的背面上形成有至少一条轻量化槽。特别是，所述底层金属层的材料为金或铜。另一方面，本专利技术提供一种金属陶瓷光学反射镜制造方法，所述方法包括下述步骤:3.1磨削后研磨金属陶瓷底板，令镜面面型精度在3 μ m± I μ m，表面粗糙度应达到 Ra本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属陶瓷光学反射镜，其特征在于，所述反射镜包括金属陶瓷底板，以及依次设置在所述金属陶瓷底板正面的钝化层、底层金属层、光学层、上层金属层和陶瓷膜；在所述金属陶瓷底板的背面上形成有至少一条轻量化槽。

【技术特征摘要】
1.一种金属陶瓷光学反射镜，其特征在于，所述反射镜包括金属陶瓷底板，以及依次设置在所述金属陶瓷底板正面的钝化层、底层金属层、光学层、上层金属层和陶瓷膜；在所述金属陶瓷底板的背面上形成有至少一条轻量化槽。2.根据权利要求1所述的金属陶瓷光学反射镜，其特征在于，所述底层金属层的材料为金或铜。3.一种金属陶瓷光学反射镜制造方法，其特征在于，所述方法包括下述步骤: 3.1磨削后研磨金属陶瓷底板,令镜面面型精度在3μ ±1μπ ，表面粗糙度应达到Ra0.2 μ m ； 3.2线切割所得金属陶瓷底板的外形； 3.3加工轻量化槽，热处理； 3.4对所得镜面进行稀土钝化，形成钝化层； 3.5在所得钝化层上采用磁控溅射方式沉积厚度20nm、纯度99.995%的金或铜，形成底层金属层； 3.6采用离子沉积工艺在所得底层金属层上沉积光学层，光学层的材料为镍95% (重量比)、钴3% (重量比)、锌1% (重量比)和铁1% (重量比)，金属纯度为99.995% ； 3.7对所得结构做预应力热处理； 3.8化学抛光； 3.9利用磁控溅射工艺镀一层金属形成上层金属层，在所述上层金属层上镀一层陶瓷膜。4.根据权利要求3所述的金属陶瓷光学反射镜制造方法，其特征在于，步骤3.3中加工轻量化槽的方法为:在铣床上使用烧结或电镀金刚石磨头加工轻量化槽，槽底部形成圆滑过渡。5.根据权利要求3所述的金属陶瓷光学反射镜制造方法，其特征在于，步骤3.3中热处理的方法为:以2°C /min的...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞晓燕，李照东，王子亮，张洪立，
申请(专利权)人：北京驰宇空天技术发展有限公司，
类型：发明
国别省市：