【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术的光学用陶瓷材料的热处理装置具有：炉体，在内部收纳应进行热处理的光学用陶瓷材料；降温控制加热器，在使应进行热处理的光学用陶瓷材料降温时发热，以控制降温速度；冷媒导入部，导入冷媒，以使冷媒在炉体的内部流动；和控制部，用来控制降温速度；降温控制加热器配置在炉体的内部或/及所述冷媒导入部，控制部控制降温控制加热器的发热量、和炉体内部的冷媒的流量中的至少一者，且以将应进行热处理的光学用陶瓷材料或其附近的降温速度保持为预先决定的模式的方式进行控制。【专利说明】光学用陶瓷材料的热处理装置、光学用陶瓷材料的热处理方法、合成石英玻璃的热处理方法、光学系统的制造方法、及曝光装置的制造方法
本专利技术涉及一种光学用陶瓷材料的热处理装置、光学用陶瓷材料的热处理方法、合成石英玻璃的热处理方法、光学系统的制造方法及曝光装置的制造方法。
技术介绍
构成曝光装置的光学系统的光学要素中所使用的合成石英玻璃或氟化钙、氟化钡等光学用陶瓷材料随着曝光装置的光源的短波长化不断发展，而要求非常高的透光率。这种需要高透光率的光学用陶瓷材料是使用经化学合成的高纯度的原料而制造。但...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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