【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具有检测包括X射线、Y射线、光等在内的放射线的功能，用于医疗领域、工业领域、原子能领域中的，尤其是涉及对放射线有感的检测层由半导体构成且该半导体由多晶构成的技术。
技术介绍
以往，作为高灵敏度放射线检测器的材料，研究、开发了各种半导体材料，尤其是CdTe (碲化镉)、ZnTe (碲化锌)或CdZnTe (碲锌镉)的晶体，并且一部分形成产品。但是，为了应用于医用诊断用的放射线检测器或放射线摄像装置，需要形成大面积(例如20cm见方以上)的放射线转换层。形成这种大面积的晶体在技术上、成本上是不现实的，公开了用近空间升华法形成多晶膜·或多晶的层叠膜的方法(例如参照专利文献I)。对于使用CdTe大块单晶的小型放射线检测器而言，已知为了降低泄漏电流而掺杂锌(Zn)，为了改善载流子移动性、提高检测性能而掺杂氯(Cl)等卤素的有效性。作为近空间升华法中的对于CdTe或CdZnTe多晶膜掺杂Cl的方法，公开了将含有CdTe、ZnTe,CdZnTe中的至少一种的第一材料，和含有CdCl2 (氯化镉)、ZnCl2 (氯化锌)中的至少一种的第二材料的混合物作为源，通过蒸...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.07.06 JP 2010-1540491.一种放射线检测器的制造方法，其特征在于，其为制造基板具备感应放射线的检测层的放射线检测器的方法， 所述检测层的形成过程包括: 第一过程，将含有Cd (镉)的单质、Te (碲)的单质、Zn (锌)的单质、CdTe (碲化镉)、ZnTe (碲化锌)、CdZnTe (碲锌镉)中的至少一种的第一材料作为源，通过蒸镀或升华法形成多晶膜或多晶的层叠膜；和 第二过程，在该第一过程的开始或过程的中途，供给与所述源不同的Cl (氯)的单质或Cl化合物作为附加源，并进行加热，使所述多晶膜或多晶的层叠膜生长。2.根据权 利要求1所述的放射线检测器的制造方法，其特征在于， 所述第一过程中使用的所述源为所述第一材料和含有CdCl2(氯化镉)、ZnCl2(氯化锌)中的至少一种的第二材料的混合物， 所述第一过程中，使用包含所述第一材料和所述第二材料的混合物的源，通过蒸镀或升华法形成多晶膜或多晶的层叠膜。3.根据权利要求2所述的放射线检测器的制造方法，其特征在于，在所述检测层的形成过程之前预先在常压非活性气氛中对所述混合物进行加热，从而烧结化。4.根据权利要求1 3中任一项所述的放射线检测器的制造方法，其特征在于， 在腔室内进行所述第一过程， 将所述附加源配置在所述腔室内而在腔室内进行所述第二过程。5.根据权利要求4所述的放射线检测器的制造方法，其特征在于，通过利用加热器对所述源进行加热来使源升华，并且对所述附加源进行加热。6.根据权利要求5所述的放射线检测器的制造方法，其特征在于，在所述腔室的上下部分别配备所述加热器。7.根据权利要求5或6所述的放射线检测器的制造方法，其特征在于，通过所述加热器的余热对所述附加源进行加热来进行所述第二过程。8.根据权利要求4所述的放射线检测器的制造方法，其特征在于， 通过利用加热器对所述源进行加热来使源升华， 并且通过与所述加热器不同的辅助加热器对所述附加源进...
【专利技术属性】
技术研发人员：徳田敏，田边晃一，吉牟田利典，岸原弘之，贝野正知，吉松圣菜，佐藤敏幸，桑原章二，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，独立行政法人国立高等专门学校机构，
类型：
国别省市：
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