对石墨烯进行后处理的方法和使用该方法制造石墨烯的方法技术

提供了一种对石墨烯进行后处理的方法和一种使用后处理方法来制造石墨烯的方法。所述方法包括：提供其上形成有石墨烯的金属薄膜；在石墨烯上设置液相载体；使载体硬化；以及将载体和石墨烯与金属薄膜分离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对石墨稀进彳丁后处理的方法和一种使用对石墨稀进彳丁后处理的所述方法来制造石墨烯的方法。
技术介绍
当如,在各种纳米
中研究了基于诸如纳米管、钻石、石墨和石墨稀的碳的材料。这些材料可以用在场效应晶体管(FET)、生物传感器、纳米复合物或量子器件中。石墨烯是二维材料，并且是带隙为零的半导体材料。在过去的几年里，已经了解到关于石墨烯的电特性的各种研究。石墨烯的电特性包括两极超电流、自旋输送和量子空穴效应。当前，石墨烯作为可用于集成基于碳的纳米电子器件的基本单元的材料而受到关注。 随着对石墨稀的关注增加，需要开发一种制造闻品质石墨稀的方法。
技术实现思路
技术问题本专利技术提供了一种通过极大地减小电阻来制造具有高电学特性的高品质石墨烯的方法。本专利技术还提供了一种大规模制造高品质石墨烯的方法。问题的解决方案根据本专利技术的一方面，提供了一种对石墨烯进行后处理的方法，所述方法包括:提供其上形成有石墨烯的金属薄膜；在石墨烯上设置液相载体；使载体硬化；以及将载体和石墨烯与金属薄膜分离。可以在根据卷对卷方法沿一定方向传送金属薄膜的同时，执行每个操作。其上形成有石墨烯的金属薄膜具有板状形状，可以在通过传送单元沿一定方向传送金属薄膜的同时，执行每个操作。其上形成有石墨烯的金属薄膜可以由围绕其上形成有石墨烯的金属薄膜的框架支撑。其上形成有石墨烯的金属薄膜可以由布置在与其上形成有石墨烯的表面相反的表面上的基体构件支撑。设置载体的步骤可以包括:将载体提供到涂覆辊的外表面上，涂覆辊与金属薄膜隔开预定的距离；以及在使涂覆辊旋转的同时，将载体涂覆到金属薄膜上。设置载体的步骤可以包括将液相载体印刷或涂覆在石墨烯上。载体可以是从由丙烯酸材料、硅类材料和环氧类材料组成的组中选择的一种。当载体是从由丙烯酸材料组成的组中选择的一种时，载体可以是PMMA或水溶性丙烯酸树脂。当载体是从由硅类材料组成的组中选择的一种时，载体是聚二甲基硅氧烷(PDMS)或娃粘结剂。使载体硬化的步骤可以包括:使用硬化装置来使载体硬化，硬化装置与液相载体隔开预定的距离并向液相载体发出热或光。将载体和石墨烯与金属薄膜分离的步骤可以包括通过蚀刻来去除金属薄膜。所述方法还可以包括:在将载体和石墨烯与金属薄膜分离之后，提供保护膜；以及在石墨烯上形成保护膜。所述方法还可以包括:去除载体。根据本专利技术的另一方面，提供了一种制造石墨烯的方法，所述方法包括:使用卷轴将金属薄膜传送到石墨烯形成设备；在金属薄膜上形成石墨烯；将液相载体设置在石墨烯上；使载体硬化；将载体和石墨烯与金属薄膜分离；以及在石墨烯上形成保护膜。可以在根据卷对卷方法沿一定方向上传送金属薄膜的同时，执行每个操作。其上形成有石墨烯的金属薄膜具有板状形状，可以在通过传送单元沿一定方向传送金属薄膜的同时，执行每 个操作。设置载体的步骤可以包括:将载体提供到涂覆辊的外表面上，涂覆辊与金属薄膜隔开预定的距离；以及在使涂覆辊旋转的同时，将载体涂覆到金属薄膜上。载体可以是从由PMMA、水溶性丙烯酸树脂、PDMS、硅粘结剂、水溶性环氧树脂、改性环氧树脂、水溶性聚氨酯树脂、水溶性天然聚合物树脂、水系统粘结剂、可见光硬化粘结剂、红外线硬化粘结剂、电子束硬化粘结剂、PBI粘结剂、聚酰亚胺粘结剂、酰亚胺粘结剂、BMI基粘结剂或热熔粘结剂组成的组中选择的至少一种。将载体和石墨烯与金属薄膜分离的步骤可以包括通过蚀刻来去除金属薄膜。所述方法还可以包括:将其上形成有保护膜的石墨烯与载体分离。分离其上形成有保护膜的石墨烯的步骤可以包括使载体在溶剂中熔化。分离其上形成有保护膜的石墨烯的步骤可以包括通过将载体浸在容纳于容器中的溶剂中来使载体熔化。根据本专利技术的另一方面，提供了一种根据对石墨烯进行后处理的方法或制造石墨烯的方法进行后处理的石墨烯。本专利技术的有益效果根据本专利技术，因为使用液相载体来形成石墨烯而不施加不必要的压力，所以石墨烯具有大约1，100Ω或更小的表面电阻R。因此，进一步提高了石墨烯的导电率和电学特性。附图说明通过参照附图详细描述本专利技术的示例性实施例，本专利技术的以上和其它特征及优点将变得更加明显，在附图中:图1是根据本专利技术实施例的制造石墨烯的方法的流程图；图2是示出根据卷对卷方法的图1的制造石墨烯的方法的示意图；图3是根据图1的操作SlOO输送的金属薄膜的示意性侧面剖视图，并且是与图2的III对应的侧面剖视图；图4是根据图1的操作SllO和S120的其上形成有石墨烯的金属薄膜的示意性侧面剖视图，并且是与图2的IV对应的侧面剖视图；图5是示出根据图1的操作S130的其上涂覆有载体的石墨烯的状态的示意性侧面剖视图，并且是与图2的V对应的侧面剖视图；图6是示出根据图1的操作S150的当去除金属薄膜时堆叠的石墨烯和载体的状态的示意性侧面剖视图，是与图2的VI对应的侧面剖视图，并且为了解释方便起见，示出了上侧和下侧颠倒的堆叠结构；图7是示出根据图1的操作S160的其上形成有保护膜材料的石墨烯的状态的示意性侧面剖视图，是与图2的VII对应的侧面剖视图，并且为了解释方便起见，示出了上侧和下侧颠倒的堆叠结构；图8是示出根据图1的操作S170的当去除载体时石墨烯的状态的示意性侧面剖视图，是与图2的VIII对应的侧面剖视图，并且为了解释方便起见，示出了上侧和下侧颠倒的堆叠结构；图9是根据本专利技术另一实施例的制造石墨烯的方法的流程图；图10是示出根据板型方法(panel-type method)的在图9中示出的制造石墨烯的方法的示意图；图11和图12是根据图9的操作S900的金属薄膜的示意性透视图；图13是示出根据施加到石墨烯的压力的次数的表面电阻的图。具体实施例方式现在将参照附图更充分地描述根据本专利技术的优点、方面以及实现这些优点和方面的方法，在附图中示出了本专利技术的示例性实施例。然而，本专利技术可以以许多不同的形式来实施，不应该被解释为局限于在此提出的实施例；而是，提供这些实施例使本公开将是彻底的和完整的，并将本专利技术的构思充分地传达给本领域的技术人员，因此本专利技术的范围应当由权利要求书来限定。这里使用的术语仅是出于描述特定实施例的目的，并不意图限制本专利技术构思。如这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式。还将理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，说明存在所述特征、步骤、操作和/或组件，但不排除存在或附加一个或多个其它特征、步骤、操作和/或组件和/或它们的组。将理解的是，尽管在这里可使用术语第一、第二、第三等来描述不同的元件，但是这些元件不应受这些术语的限制，这些术语仅出于将一个元件与另一个元件区分开的目的。在下文中，现将参照附图描述制造石墨烯的方法。在制造石墨烯的方法的操作S130至S170中描述根据本专利技术实施例的对石墨烯进行后处理的方法，因此，将不再重复对石墨烯进行后处理的方法的描述。图1是根据本专利技术实施例的制造石墨烯的方法的流程图，图2是示出根据图1的制造石墨烯的方法的工艺状态的示意图。在操作SlOO中，通过使用卷轴10来传送金属薄膜301。参照图2，卷绕在卷轴10上的金属薄膜301被释放，并朝石墨烯形成设备110移动。金属薄膜301 可 以由从由 N1、Co、Fe、Pt、Au、Al、Cr、Cu、Mg、Mn、Mo、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.08.11 KR 10-2010-00774911.一种对石墨烯进行后处理的方法，所述方法包括: 提供其上形成有石墨烯的金属薄膜； 在石墨烯上设置液相载体； 使载体硬化；以及 将载体和石墨烯与金属薄膜分离。2.根据权利要求1所述的方法，其中，在根据卷对卷方法沿一定方向传送金属薄膜的同时，执行每个操作。3.根据权利要求1所述的方法，其中，其上形成有石墨烯的金属薄膜具有板状形状， 在通过传送单元沿一定方向传送金属薄膜的同时，执行每个操作。4.根据权利要求3所述的方法，其中，其上形成有石墨烯的金属薄膜由围绕其上形成有石墨烯的金属薄膜的框架支撑。5.根据权利要求3所述的方法，其中，其上形成有石墨烯的金属薄膜由布置在与其上形成有石墨稀的表面相反的表面上的基体构件支撑。6.根据权利要求1所述的方法，其中，设置载体的步骤包括: 将载体提供到涂覆辊的外表面上，涂覆辊与金属薄膜隔开预定的距离；以及 在使涂覆辊旋转的同时，将载体涂覆到金属薄膜上。7.根据权利要求1所述的方法，其中，设置载体的步骤包括将液相载体印刷或涂覆在石墨烯上。8.根据权利要求1所述的方法，其中，载体是从由丙烯酸材料、硅类材料和环氧类材料组成的组中选择的一种。9.根据权利要求8所述的方法，其中，当载体是从由丙烯酸材料组成的组中选择的一种时，载体是PMMA或水溶性丙烯酸树脂。10.根据权利要求8所述的方法，其中，当载体是从由硅类材料组成的组中选择的一种时，载体是聚二甲基硅氧烷或硅粘结剂。11.根据权利要求1所述的方法，其中，使载体硬化的步骤包括:使用硬化装置来使载体硬化，硬化装置与液相载体隔开预定的距离并向液相载体发出热或光。12.根据权利要求1所述的方法，其中，将载体和石墨烯与金属薄膜分离的步骤包括通过蚀刻来去除金属薄膜。13.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括:在将...

【专利技术属性】
技术研发人员：元栋观，曹承旻，尹钟赫，罗德和，
申请(专利权)人：三星泰科威株式会社，
类型：
国别省市：