【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种芯片载板的复合方法及根据该方法制得的芯片载板。
技术介绍
随着芯片(半导体&LED)功率的加大及芯片轻薄化小型化的发展趋势,芯片的散热性愈显重要,同时对其结构的精度要求也更高。现今在芯片的封装领域,芯片的载板需要加工出承载芯片的凹杯,传统的凹杯大都以减法的方式加工,即将载板各层复合好后,再在其上以物理手段挖出一个凹杯,但这种加工方式使得凹杯底部的承载面不够平整布满螺纹,凹杯与承载面相接的位置难以做成直角,使得芯片安装时对位困难,影响了后续的安装配合,还会导致较高的不良率,增加了成本。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本专利技术提供一种芯片载板的复合方法,将固态导热胶应用于光电散热载板,同时采用增法工艺来加工芯片载板的凹杯,使得载板具有很好的散热性能,成本降低的同时结构精度更高,本专利技术同时还提供了一种根据该方法制得的芯片载板。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是: 一种芯片载板的复合方法,包括以下步骤: a.提供固态导热胶以及金属基板I和金属基板II,金属基板II作为承载板使用; b.将金属基板I和固态导热胶进行复合处理; C.在金属基板I和固态导热胶复合处理后的复合板上冲孔,形成一个承载芯片的凹杯; d.将冲孔后的复合板具有固态导热胶的一面与金属基板II进行真空压合。为了对金属基板I和/或金属基板II进行清洗,并在其表面形成一定的粗糙度,方便各层复合,还可以在步骤a之前对金属基板I和/或金属基板II进行粗化、清洗、钝化、氧化和干燥处理。为了体现外观,还可以在步骤d之后对金属基板1、金属基板II和固态导热胶进 ...
【技术保护点】
一种芯片载板的复合方法,其特征在于,包括以下步骤:提供固态导热胶以及金属基板Ⅰ和金属基板Ⅱ,金属基板Ⅱ作为承载板使用;将金属基板Ⅰ和固态导热胶进行复合处理;在金属基板Ⅰ和固态导热胶复合处理后的复合板上冲孔,形成一个承载芯片的凹杯;将冲孔后的复合板具有固态导热胶的一面与金属基板Ⅱ进行真空压合。
【技术特征摘要】
1.一种芯片载板的复合方法,其特征在于,包括以下步骤: 提供固态导热胶以及金属基板I和金属基板II,金属基板II作为承载板使用; 将金属基板I和固态导热胶进行复合处理; 在金属基板I和固态导热胶复合处理后的复合板上冲孔,形成一个承载芯片的凹杯; 将冲孔后的复合板具有固态导热胶的一面与金属基板II进行真空压合。2.根据权利要求1所述的一种芯片载板的复合方法,其特征在于:在步骤a之前对金属基板I进行粗化、清洗、钝化、氧化和干燥处理。3.根据权利要求1所述的一种芯片载板的复合方法,其特征在于:在步骤a之前对金属基板II进行粗化、清洗、钝化、氧化和干燥处理。4.根据权利要求1所述的一种芯片载板的复合方法,其特征在于:在步骤d之后对金属基板1、金属基板II和固态导热胶进行着色处理。5.根据权利要求1所述的一种芯片载板的复合方法,其特征在于:进行步骤d的真空压合时,温度为160 190°C,真空度为400 760_ Hg,压合时间...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖萍涛,张守金,萧哲力,秋山隆德,
申请(专利权)人:鹤山东力电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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