【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种电子元件生产用密封容器。
技术介绍
电子元件生产过程中，需要经过多种处理工艺。有些处理工艺中，需要在密封装置中进行，处理时需要形成密封空间，以便形成负压或增压。如晶圆润湿是在润湿槽内进行，润湿时需要将槽内抽真空形成负压。但现有技术中的生产用容器，密封结构复杂，使用不方便，密封性能差。
技术实现思路
本专利技术的第一个目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可快速实现密封的电子元件生产用密封容器。为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案实现电子元件生产用密封容器，其特征在于，包括密封盖和槽体，所述密封盖设置于槽体上端；所述槽体内壁设置有台阶；所述密封盖包括压盖本体，所述压盖本体设置有容腔；旋转机构，所述旋转机构`与容腔形状像适应，所述旋转机构可旋转地设置在容腔内；按压机构，所述按压机构可朝向槽体内壁往复移动地设置；传动机构,所述旋转机构与按压机构通过传动机构连接；所述旋转机构旋转时通过传动机构驱动按压机构往复移动；所述压盖本体与所述台阶之间设置有密封圈，所述按压机构朝槽体内壁移动时受槽体内壁压迫而带动压盖本体朝所述台阶移动而压缩密封圈。优选地是，所...
【技术保护点】
电子元件生产用密封容器，其特征在于，包括密封盖和槽体，所述密封盖设置于槽体上端；所述槽体内壁设置有台阶；所述密封盖包括：压盖本体，所述压盖本体设置有容腔；旋转机构，所述旋转机构与容腔形状像适应，所述旋转机构可旋转地设置在容腔内；按压机构，所述按压机构可朝向槽体内壁往复移动地设置；传动机构，所述旋转机构与按压机构通过传动机构连接；所述旋转机构旋转时通过传动机构驱动按压机构往复移动；所述压盖本体与所述台阶之间设置有密封圈，所述按压机构朝槽体内壁移动时受槽体内壁压迫而带动压盖本体朝所述台阶移动而压缩密封圈。
【技术特征摘要】
1.电子元件生产用密封容器，其特征在于，包括密封盖和槽体，所述密封盖设置于槽体上端; 所述槽体内壁设置有台阶； 所述密封盖包括 压盖本体，所述压盖本体设置有容腔； 旋转机构，所述旋转机构与容腔形状像适应，所述旋转机构可旋转地设置在容腔内； 按压机构，所述按压机构可朝向槽体内壁往复移动地设置； 传动机构，所述旋转机构与按压机构通过传动机构连接；所述旋转机构旋转时通过传动机 构驱动按压机构往复移动； 所述压盖本体与所述台阶之间设置有密封圈，所述按压机构朝槽体内壁移动时受槽体内壁 压迫而带动压盖本体朝所述台阶移动而压缩密封圈。2.根据权利要求1所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述旋转机构为圆形；所述按压机构可沿所述压盖本体径向移动地设置。3.根据权利要求2所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述压盖本体的侧壁设置有通孔，所述按压机构可沿通孔移动地设置。4.根据权利要求3所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述的旋转机构旋转时，驱动按压机构沿压盖本体径向移动。5.根据权利要求4所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述旋转机构沿一方向旋转时，驱动所述按压机构沿压盖本体径向移动至突出于压盖本体侧壁；所述的旋转机构反向旋转时，驱动按压机构返回原位。6.根据权利要求1所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述传动机构为连杆，所述连杆一端与按压机构连接，另一端与旋转机构可转动地连接；所述旋转机构旋转时，通过所述连杆驱动所述按压机构沿压盖本体径向移动。7.根据权利要求6所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述旋转机构的侧面设置有第一凹槽，所述连杆一端通过销轴可转动地设置在所述第一凹槽内。8.根据权利要求6所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述旋转机构侧壁设置有凸块，所述第一凹槽设置于所述凸块上。9.根据权利要求6所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述连杆另一端与所述按压机构可转动地连接。10.根据权利要求5所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述压盖本体的侧壁设置有通孔，所述通孔沿所述压盖本体外周面延伸至与容腔连通；所述按压机构设置于所述通孔内并可沿通孔移动地设置；所述按压机构沿所述通孔移动时受所述通孔导向而沿所述压盖本体径向移动。11.根据权利要求1所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，还包括第一弹性复位装置，所述第一弹性复位装置在所述旋转机构旋转后产生弹性变形力，所述第一弹性变形力具有使旋...
【专利技术属性】
技术研发人员：王振荣，刘红兵，陈概礼，
申请(专利权)人：上海新阳半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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