一种MEMS可调标准具制造技术

本发明专利技术公开了一种MEMS可调标准具，包括一标准具腔片和MEMS，所述MEMS纵向可调，其上表面镀高反膜，作为标准具的一个腔片，固定于MEMS固定支架上；所述标准具腔片镀反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两根或两根以上的钢针固定连接；腔片固定支架通过焊锡焊接于钢针上；MEMS上表面与标准具腔片的反射面相互平行，构成一空气隙可调标准具。本发明专利技术采用钢针焊接方式，焊点小、应力小，较易控制；标准具腔面与MEMS上表面的平行度可以采用扳手扳平，或者利用侧支架上的调节螺丝轻松的调节，该标准具具有结构简单，调节简易方便等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光无源器件领域，尤其涉及一种带MEMS的可调标准具。
技术介绍
在涉及标准具的光无源器件中，很多应用需要标准具具有一定的调节能力，如调节标准具的自由光谱范围(FSR)，插损曲线、群延迟曲线的中心波长等。无论是实体标准具还是空气隙标准具，二者腔面之间的距离一旦固定下来，标准具的FSR也就确定下来，很难从工艺上实现FSR的精确控制，而且很难应用在要求标准具FSR可变的情况下。另外在一些光无源器件中，需要在密封的环境中填充气体来控制标准具的中心透射峰，但是随着时间的延长，中心透射峰会因为漏气而产生漂移。中国专利局2011年5月11日公布的专利技术专利申请《一种可调标准具》(申请号201010557239.0)公开了一种可调标准具，如图1所示，包括透明基板和MEMS，其固定结构包括两个中空圆柱模块和一球关节，透明基板和MEMS分别固定于两个中空圆柱模块上，两个中空圆柱模块通过球关节连接，各模块接触面采用粘胶工艺连接。该固定结构利用粘胶工艺连接，容易老化，而且其结构相对复杂，工艺过程较繁琐。
技术实现思路
为克服上述问题，本专利技术提出一种MEMS可调标准具，其固定结构简单，调节简本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS可调标准具，包括一标准具腔片和MEMS，其特征在于：所述MEMS纵向可调，其上表面镀高反膜，固定于MEMS固定支架上；所述标准具腔片镀反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两根或两根以上的钢针固定连接；MEMS上表面与标准具腔片的反射面相互平行。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS可调标准具，包括一标准具腔片和MEMS，其特征在于所述MEMS纵向可调，其上表面镀高反膜，固定于MEMS固定支架上；所述标准具腔片镀反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两根或两根以上的钢针固定连接；MEMS上表面与标准具腔片的反射面相互平行。2.如权利要求1所述的一种MEMS可调标准具，其特征在于所述MEMS固定支架大于腔片固定支架，其外侧设置一侧支架，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴砺，柏天国，李阳，
申请(专利权)人：福州高意通讯有限公司，
类型：发明
国别省市：