一种MEMS可调标准具制造技术

本发明专利技术公开了一种MEMS可调标准具，包括一标准具腔片和MEMS，所述MEMS纵向可调，其上表面镀高反膜，作为标准具的一个腔片，固定于MEMS固定支架上；所述标准具腔片镀反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两根或两根以上的钢针固定连接；腔片固定支架通过焊锡焊接于钢针上；MEMS上表面与标准具腔片的反射面相互平行，构成一空气隙可调标准具。本发明专利技术采用钢针焊接方式，焊点小、应力小，较易控制；标准具腔面与MEMS上表面的平行度可以采用扳手扳平，或者利用侧支架上的调节螺丝轻松的调节，该标准具具有结构简单，调节简易方便等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光无源器件领域，尤其涉及一种带MEMS的可调标准具。
技术介绍
在涉及标准具的光无源器件中，很多应用需要标准具具有一定的调节能力，如调节标准具的自由光谱范围(FSR)，插损曲线、群延迟曲线的中心波长等。无论是实体标准具还是空气隙标准具，二者腔面之间的距离一旦固定下来，标准具的FSR也就确定下来，很难从工艺上实现FSR的精确控制，而且很难应用在要求标准具FSR可变的情况下。另外在一些光无源器件中，需要在密封的环境中填充气体来控制标准具的中心透射峰，但是随着时间的延长，中心透射峰会因为漏气而产生漂移。中国专利局2011年5月11日公布的专利技术专利申请《一种可调标准具》(申请号201010557239.0)公开了一种可调标准具，如图1所示，包括透明基板和MEMS，其固定结构包括两个中空圆柱模块和一球关节，透明基板和MEMS分别固定于两个中空圆柱模块上，两个中空圆柱模块通过球关节连接，各模块接触面采用粘胶工艺连接。该固定结构利用粘胶工艺连接，容易老化，而且其结构相对复杂，工艺过程较繁琐。
技术实现思路
为克服上述问题，本专利技术提出一种MEMS可调标准具，其固定结构简单，调节简易方便。为达到上述目的，本专利技术所提出的技术方案为一种MEMS可调标准具，包括一标准具腔片和MEMS，所述MEMS纵向可调，其上表面镀高反膜，作为标准具的一个腔片，固定于MEMS固定支架上；所述标准具腔片镀反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两根或两根以上的钢针固定连接；MEMS上表面与标准具腔片的反射面相互平行。进一步的，所述MEMS固定支架大于腔片固定支架，其外侧设置一侧支架，该侧支架相对于腔片固定支架的位置设有两个或两个以上的调节螺丝；所述调节螺丝穿过侧支架的螺孔，顶在腔片固定支架外周。进一步的，所述钢针与MEMS固定支架为一体结构，或者所述钢针与MEMS固定支架为紧配合连接。进一步的，所述钢针与腔片固定支架通过焊锡焊接固定。本专利技术的有益效果本专利技术的一种MEMS可调标准具，采用钢针焊接方式，焊点小、应力小，较易控制；标准具腔面与MEMS上表面的平行度可以采用扳手扳平，或者利用侧支架上的调节螺丝轻松的调节，因此本专利技术的可调标准具结构简单，调节简易方便。附图说明图1为现有技术的一种可调标准具结构示意图；图2为本专利技术的实施例一结构示意图3为本专利技术的实施例二结构示意图。标号说明101. MEMS ；102.标准具腔片；103. MEMS固定支架；104.腔片固定支架；105.钢针；106.焊锡；201. MEMS ；202.标准具腔片；203. MEMS固定支架；204.腔片固定支架；205.钢针；206.焊锡；207.侧支架；208.调节螺丝。具体实施例方式下面结合附图和具体实施方式，对本专利技术做进一步说明。本专利技术采用反射式MEMS作为标准具的一个腔面，与另一标准具腔片的一面构成空气隙标准具，通过控制MEMS的纵向位置来精确控制调节标准具的FSR。如图2所示为本专利技术的实施例一，MEMS 101被牢牢固定在MEMS固定支架103上，标准具腔片102固定在腔片固定支架104上，腔片固定支架104与MEMS固定支架103通过钢针105固定连接。MEMS 101上表面镀高反膜，作为标准具的一个腔面，标准具腔片102的一面镀反射膜，与MEMS 101上表面相互平行，构成一个空气隙可调标准具，通过调节MEMS 101的纵向位置来精确控制标准具的FSR。钢针105与MEMS固定支架103可以是一体结构，也可以采用紧配合方式连接；腔片固定支架104利用焊锡106焊接于钢针105上，同时控制两个反射面相互平行。采用钢针105焊接，焊点小，应力小，容易控制，一旦空气隙距离被固定，若两腔面平行度发生偏离，可以用扳手在焊接位置轻松的调节标准具腔片102与MEMS 101反射面的平行度。如图3所示为本专利技术的实施例二，与实施例一一样，MEMS 201上表面镀高反膜作为标准具的一个腔面，被牢牢固定在MEMS固定支架203上，标准具腔片202的一面镀反射面，固定于腔片固定支架204上，并与MEMS 201上表面平行，构成一个空气隙可调标准具，通过调节MEMS 201纵向位置来精确控制标准具的FSR。同样的，腔片固定支架204与MEMS固定支架203通过钢针205固定连接，腔片固定支架204通过焊锡206焊接于钢针205上。该腔片固定支架204尺寸稍小于MEMS固定支架203，在MEMS固定支架203外侧设置一侧支架207，该侧支架207上相对应于腔片固定支架204的位置设有两个或两个以上的调节螺丝208，该调节螺丝208穿过侧支架207的螺孔后顶在腔片固定支架204外周。当标准具两腔面平行度发生偏离时，通过调节螺丝208便可轻松的调节标准具腔片202与MEMS 201反射面的平行度。尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本专利技术，但所属领域的技术人员应该明白，在不脱离所附权利要求书所限定的本专利技术的精神和范围内，在形式上和细节上对本专利技术做出的各种变化，均为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS可调标准具，包括一标准具腔片和MEMS，其特征在于：所述MEMS纵向可调，其上表面镀高反膜，固定于MEMS固定支架上；所述标准具腔片镀反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两根或两根以上的钢针固定连接；MEMS上表面与标准具腔片的反射面相互平行。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS可调标准具，包括一标准具腔片和MEMS，其特征在于所述MEMS纵向可调，其上表面镀高反膜，固定于MEMS固定支架上；所述标准具腔片镀反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两根或两根以上的钢针固定连接；MEMS上表面与标准具腔片的反射面相互平行。2.如权利要求1所述的一种MEMS可调标准具，其特征在于所述MEMS固定支架大于腔片固定支架，其外侧设置一侧支架，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴砺，柏天国，李阳，
申请(专利权)人：福州高意通讯有限公司，
类型：发明
国别省市：