温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种MEMS可调标准具，包括一标准具腔片和MEMS，所述MEMS纵向可调，其上表面镀高反膜，作为标准具的一个腔片，固定于MEMS固定支架上；所述标准具腔片镀反射膜，固定于腔片固定支架上；所述MEMS固定支架与腔片固定支架之间由两...
该专利属于福州高意通讯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福州高意通讯有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。