【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种装置，其包含：光学堆叠；可移动反射体，所述可移动反射体相对于所述光学堆叠可移动通过在至少第一位置与第二位置之间的干涉调制腔；以及热膨胀平衡层，机械耦合至所述可移动反射体上相对于所述干涉调制腔的一侧上可移动柔性层的与所述可移动至少部分反射体相对的一侧上，所述热膨胀平衡层被配置为当所述可移动反射体位于所述第一位置时，所述装置被加热或冷却时所述可移动反射体与所述光学堆叠之间的距离不会改变。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：绍里·古德拉瓦莱蒂，克拉伦斯·徐，
申请(专利权)人：高通MEMS科技公司，
类型：发明
国别省市：
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