薄层电阻等值线图的测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种薄层电阻等值线图的测试装置，所述测试装置包括：多个探头，所述探头用于测试待测样品的薄层电阻等值线图；传动装置，所述传动装置包括托架、可旋转地设置在所述托架上的传动齿轮和设置在所述传动齿轮的下表面的多个连接装置，所述连接装置将所述探头可拆卸地安装在所述传动齿轮的下表面；以及传动驱动装置，所述传动驱动装置驱动所述传动齿轮转动，以将合适的探头转动到测试位置。根据本发明专利技术的测试装置不但提高了测试效率，而且还可以避免更换探头时对探头的污染和损坏，保证测试结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种薄层电阻等值线图的测试装置。
技术介绍
在半导体制造领域中，通过使用薄层电阻等值线图的测试装置来测试晶片表面上待测介质的电阻率。依据待测介质的电阻率的不同，还需要使用不同的探头进行测试。以美国PiOmetrix公司制造的RS35型薄层电阻等值线图测试装置为例，探头包括A型探头、B型探头、C型探头和D型探头，其中A型探头主要同于测量电阻率较小的金属介质，其它类型的探头会依据待测介质的电阻率在测试过程中分别进行选择。然而，现有的薄层电阻等值线图的测试装置每次只能安装一个探头，因此当需要测试不同的待测介质时，需要人工手动地更换探头。手动更换探头不但费时费力，而且手动更换还可能污染探头，使得测试结果不准确，甚至会对探头造成损坏。因此，需要一种薄层电阻等值线图的测试装置以解决上述问题。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足，本专利技术提供了一种薄层电阻等值线图的测试装置，所述测试装置包括多个探头，所述探头用于测试待测样品的薄层电阻等值线图；传动装置，所述传动装置包括托架、可旋转地设置在所述托架上的传动齿轮和设置在所述传动齿轮的下表面的多个连接装置，所述连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄层电阻等值线图的测试装置，其特征在于，所述测试装置包括：多个探头，所述探头用于测试待测样品的薄层电阻等值线图；传动装置，所述传动装置包括托架、可旋转地设置在所述托架上的传动齿轮和设置在所述传动齿轮的下表面的多个连接装置，所述连接装置将所述探头可拆卸地安装在所述传动齿轮的下表面；以及传动驱动装置，所述传动驱动装置驱动所述传动齿轮转动，以将合适的探头转动到测试位置。

【技术特征摘要】
1.一种薄层电阻等值线图的测试装置，其特征在于，所述测试装置包括 多个探头，所述探头用于测试待测样品的薄层电阻等值线图； 传动装置，所述传动装置包括托架、可旋转地设置在所述托架上的传动齿轮和设置在所述传动齿轮的下表面的多个连接装置，所述连接装置将所述探头可拆卸地安装在所述传动齿轮的下表面；以及 传动驱动装置，所述传动驱动装置驱动所述传动齿轮转动，以将合适的探头转动到测试位置。2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述传动驱动装置包括电动机和驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述传动齿轮啮合，所述电动机用于驱动所述驱动齿轮转动，以带动所述传动齿轮转动。3.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述传动装置还包括限位装置，所述限位装置用于使所述合适的探头与所述测试位置对准。4.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述限位装置包括多个限位件和多个限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆琦，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：