【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空领域的真空泵，具体地说是一种干气密封螺杆真空泵。
技术介绍
螺杆真空泵由于具有优越的性能，在微电子、制药、精密加工、造纸、包装等行业有着广泛的应用，尤其是在半导体加工生产线上有很多独特的挑战。近年来，随着螺杆真空泵在石油、化工行业的应用，暴露出了一些问题，传统轴封不能保证其输送介质的完全密封，必然存在着一定量的介质泄漏，这样对于输送有毒、有害的介质就会存在安全隐患，情况严重时会危及操作者的生命。基于以上情况，需要一种相对零泄漏的螺杆真空泵，这对于其在石油、化工行业的应用意义重大。
技术实现思路
为了解决现有真空泵存在介质泄漏的问题，本专利技术的目的在于提供一种干气密封螺杆真空泵。该干气密封螺杆真空泵通过干气密封和迷宫式密封组合的方式将泵腔体内、外界完全隔离，使介质完全被封闭在泵腔内，适用于石油、化工有毒有害介质的工况。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的一种干气密封螺杆真空泵，包括腔体、主动转子轴、从动转子轴、主动转子、从动转子、传动装置、中间架、干气密封、迷宫式密封及电机，其中腔体的一侧与中间架连接，所述主动转子轴和从动转子轴均设置于腔体内...
【技术保护点】
一种干气密封螺杆真空泵，其特征在于：包括腔体(1)、主动转子轴(10)、从动转子轴(11)、主动转子(2)、从动转子(3)、传动装置、中间架(4)、干气密封(5)、迷宫式密封(6)及电机(8)，其中腔体(1)的一侧与中间架(4)连接，所述主动转子轴(10)和从动转子轴(11)均设置于腔体(1)内，主动转子轴(10)和从动转子轴(11)上分别设有主动转子(2)和从动转子(3)，所述主动转子轴(10)的一端依次穿过腔体(1)、中间架(4)与电机(8)连接，所述从动转子轴(11)的一端穿过中间架(4)通过传动装置与主动转子轴(10)连接，所述主动转子轴(10)和从动转子轴(11)...
【技术特征摘要】
1.一种干气密封螺杆真空泵，其特征在于包括腔体(I)、主动转子轴(10)、从动转子轴(11)、主动转子(2)、从动转子(3)、传动装置、中间架(4)、干气密封(5)、迷宫式密封(6)及电机(8)，其中腔体(I)的一侧与中间架(4)连接，所述主动转子轴(10)和从动转子轴(11)均设置于腔体(I)内，主动转子轴(10)和从动转子轴(11)上分别设有主动转子(2)和从动转子(3)，所述主动转子轴(10)的一端依次穿过腔体(I)、中间架(4)与电机(8)连接，所述从动转子轴(11)的一端穿过中间架(4)通过传动装置与主动转子轴(10)连接，所述主动转子轴(10)和从动转子轴(11)上均依次套设有位于中间架(4)内的干气密封(5)和迷宫式密封(6)。2.按权利要求1所述的干气密封螺杆真空泵，其特征在于所述传动装置包括齿轮箱(7)、主动齿轮...
【专利技术属性】
技术研发人员：张振厚，王光玉，刘志东，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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