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本发明涉及真空领域的真空泵，具体地说是一种干气密封螺杆真空泵，包括腔体、主动转子轴、从动转子轴、主动转子、从动转子、传动装置、中间架、干气密封、迷宫式密封及电机，其中腔体的一侧与中间架连接，主动转子轴和从动转子轴均设置于腔体内，主动转子轴和...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

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