一种爪式无油真空泵制造技术

技术编号:8547560 阅读:280 留言:0更新日期:2013-04-05 19:36
本实用新型专利技术涉及一种爪式无油真空泵,包括电机和干泵主体,电机右端设有联轴器,联轴器右端连接干泵主体,干泵主体上端靠右侧设有进气口,干泵主体前端设有排气口,转子一、转子二、转子三、转子四与泵腔一、泵腔二、泵腔三、泵腔四之间分别设有微小的间隙,并形成密封装置,干泵主体外部设有清洗工艺孔,干泵主体右端设有若干水冷工艺孔,排气口上设有消音器。本实用新型专利技术的有益效果为:在转子之间及转子与泵腔之间留有微小的间隙,保证了清洁的真空环境;水冷工艺孔的设计防止形成的氧化物自燃引起爆炸;自动清洗工艺孔的设计可在不拆泵的情况下,30分钟内对泵的内部进行全面清洗并恢复到出厂水平;消音器的设计,可降低噪音至65Db。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种爪式无油真空泵
技术介绍
目前市场上的真空泵存在以下缺陷1、清洁度低,没有对油润滑型的干式真空泵的油蒸气污染采取必要的措施,没有对抽气过程中混入的颗粒物做好有效的防护;2、安全性低,没有对CVD (化学气相沉积)过程中可能出现的爆炸事故做好防护措施;3、耐磨性低;4、造价高;5、维修不方便;6、性能不稳定;7、振动大、噪音高。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种爪式无油真空泵,以克服目前现有技术的真空泵存在的清洁度低、安全性低、耐磨性低、造价高、维修不方便、性能不稳定、振动大、噪音高的不足。本技术的目的是通过以下技术方案来实现一种爪式无油真空泵,包括电机,所述电机右端设有电机连接架,电机连接架右端连接干泵主体,干泵主体上端靠右侧设有进气口,所述干泵主体前端设有排气口,所述电机连接架内设有联轴器,联轴器连接主动轴,主动轴上设有主动齿轮,主动齿轮活动连接从动齿轮,从动齿轮中心固定有从动轴,从动轴和主动轴上分别自主动齿轮和从动齿轮向右依次设有轴封层一、轴承一、隔套一、转子一、隔套二、转子二、隔套三、转子三、隔套四、转子四、隔套五、轴承二,所述转子一、转子二、转子三、转子四之间分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种爪式无油真空泵,包括电机(1)和干泵主体(3),所述电机(1)右端设有电机连接架(2),电机连接架(2)右端连接干泵主体(3),干泵主体(3)上端靠右侧设有进气口(5),干泵主体(3)前端设有排气口(6),电机连接架(2)内设有联轴器(7),联轴器(7)连接主动轴(8),主动轴(8)上设有主动齿轮(9),主动齿轮(9)活动连接从动齿轮(10),从动齿轮(10)中心固定有从动轴(11),其特征在于:从动轴(11)和主动轴(8)上分别自主动齿轮(9)和从动齿轮(10)向右依次设有轴封层一(31)、轴承一(12)、隔套一(13)、转子一(14)、隔套二(15)、转子二(16)、隔套三(17)、转...

【技术特征摘要】
1.一种爪式无油真空泵,包括电机(I)和干泵主体(3 ),所述电机(I)右端设有电机连接架(2),电机连接架(2)右端连接干泵主体(3),干泵主体(3)上端靠右侧设有进气口(5),干泵主体(3)前端设有排气口(6),电机连接架(2)内设有联轴器(7),联轴器(7)连接主动轴(8 ),主动轴(8 )上设有主动齿轮(9 ),主动齿轮(9 )活动连接从动齿轮(10 ),从动齿轮(10 )中心固定有从动轴(11),其特征在于从动轴(11)和主动轴(8 )上分别自主动齿轮(9 )和从动齿轮(10)向右依次设有轴封层一(31)、轴承一(12)、隔套一(13)、转子一(14)、隔套二(15)、转子二(16)、隔套三(17)、转子三(18)、隔套四(19)、转子四(20)、隔套五(21)、轴承二(22),所述转子一(14)、转子二(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:王瑞华顿成元
申请(专利权)人:北京奥普科星技术有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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