发光装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种发光装置的制造方法，发光装置在基板上包含多个下部电极、第一有机层、第二有机层和第三有机层以及上部电极，第一有机层、第二有机层和第三有机层均被形成在下部电极中的一个上以发射相互不同的颜色的光，上部电极与下部电极相对以夹着第一有机层、第二有机层或第三有机层。该方法包括：在多个下部电极上形成第一有机层；去除某个下部电极上的第一有机层以露出该下部电极，然后在露出的下部电极上形成新的有机层，并且对于第二和第三有机层重复该处理。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。更具体地，本专利技术涉及包括有机电致发光(有机 EL)元件的诸如显示装置或照明装置之类的。
技术介绍
近年来，作为平板显示器，作为自发光型装置的有机EL显示装置已受到关注。有机EL显示装置表示如下显示装置，该显示装置使用包含一对电极和布置在该对电极之间的有机层的有机EL元件作为显示元件。执行彩色显示的有机EL显示装置使用如下配置， 在该配置中，用于发射白光的有机EL元件与多种颜色的滤色器相组合，或者用于发射诸如红色、绿色和蓝色之类的相互不同颜色的多种类型的有机EL元件被布置。日本专利申请公开No. 2003-36971讨论了用于通过使用光刻将有机层图案化的方法，作为用于以高精度在预定位置中形成多种类型的有机EL元件的有机层的方法。具体地，通过在基板的整个表面上涂敷来形成用于发射第一颜色的光的第一发光层，并且在其上面形成光刻胶层(剥离层)。然后，在光刻胶层通过光刻被图案化以仅保留在要保留第一发光层的区域中之后，通过使用光刻胶层作为掩模，选择性地蚀刻第一发光层。 作为结果，在预定区域中形成第一发光层。然后，在用于将第一发光层图案化的光刻胶保留的同时，通过在基板的整个表面上涂敷来形成用于发射第二颜色的光的第二发光层，并且与在其上面形成的第二发光层一起剥离(脱落)光刻胶层。此外，在第一发光层和第二发光层上形成光刻胶层(剥离层)，然后，光刻胶层通过光刻被图案化以仅保留在要保留第一发光层和第二发光层的区域中。通过使用该光刻胶层作为掩模，通过蚀刻去除第二发光层。从而，第二发光层被图案化以形成在预定区域中。然后，在用于将第二发光层图案化的光刻胶层保留的同时，通过在基板的整个表面上涂敷来形成用于发射第三颜色的光的第三发光层，并且与在其上面形成的第三发光层一起剥离(脱落)光刻胶层。从而，第三发光层被图案化以形成在预定区域中。光刻的使用使得能够以高的位置精度在预定位置中形成用于发射不同颜色的光的第一发光层、第二发光层和第三发光层。美国公开专利No. 2010-0117936还公开了用于通过类似的光刻来制造有机EL元件的方法。根据该方法，通过用激光束进行照射来选择性地去除发光层。 然而，在常规的光刻处理中，对于各颜色在预定位置中将有机EL层图案化。该处理对于三种颜色被重复，并且有机EL层被排列。因此，形成第三颜色的有机EL层的下部电极表面在去除先前形成的两种颜色的有机EL层的蚀刻处理期间两次经受蚀刻气体或蚀刻剂。在通过蚀刻用激光束去除有机EL层的方法中，形成第三颜色的有机EL层的下部电极表面用激光束被照射两次。去除有机EL层的处理中的一种是使用氧气、四氟化碳(CF4)气体或六氟化硫(SF6) 气体的干蚀刻。下部电极暴露于干蚀刻处理会导致以下的问题。第一问题是，电极材料与蚀刻气体之间的反应在下部电极的表面上产生化合物， 并且反应产物到下部电极的表面上的重新附着降低了下部电极表面的清洁度。下部电极表面的清洁度的降低导致从下部电极到有机层中的空穴或电子注入特性的劣化。因此，出现发光效率的降低、由于较高驱动电压导致的功耗的增加、或者诸如不均匀发光的显示失效。 特别地，当包含Al或Ag的合金材料用于下部电极时，容易在下部电极表面上产生与蚀刻气体的反应化合物，并且这样的问题十分显著。当在下部电极表面中形成诸如铟锡氧化物 (ΙΤ0)、铟锌氧化物(IZO)或镁氧化物(MgOx)之类的氧化物的透明导电膜时，虽然没有反应化合物产生，但是氧化物透明导电膜的表面氧化程度改变，从而使到有机层中的空穴或电子注入特性劣化。第二问题是，由于下部电极的表面的蚀刻，表面平滑度下降而导致电流的局部集中，从而降低发光效率。在最坏的情况下，出现下部电极与上部电极之间的短路而导致不发光。上述的下部电极表面的清洁度或平滑度的降低程度与下部电极表面暴露于干蚀刻处理的时间段成比例。因此，在形成第三颜色的有机EL层的下部电极表面上清洁度或平滑度下降最多。作为结果，在形成第三颜色的有机EL层的有机EL元件中频繁出现发光效率的降低或显示失效，从而降低有机EL显示装置的产量。在用激光束蚀刻有机EL层的方法中，下部电极表面类似地由于激光束的照射受损。从而，下部电极的电荷注入特性和平滑度在第二颜色的有机EL层与第三颜色的有机EL层之间是不同的。
技术实现思路
根据本专利技术的一方面，提供了一种，所述发光装置在基板上包含多个下部电极、第一有机层、第二有机层和第三有机层以及上部电极，第一有机层、第二有机层和第三有机层均被形成在所述下部电极中的一个上以发射相互不同的颜色的光， 所述上部电极与所述下部电极相对以夹着第一有机层、第二有机层或第三有机层，所述制造方法包括(I)在基板上形成所述多个下部电极；(2 )在所述多个下部电极上形成第一有机层；(3)去除包含于所述多个下部电极中的某个下部电极上的第一有机层，以露出该下部电极同时保留除了所述某个下部电极以外的下部电极上的第一有机层，然后在露出的下部电极上形成第二有机层；(4)去除与所述某个下部电极不同的另一某个下部电极上的第一有机层，以露出该下部电极同时保留 除了所述某个下部电极和所述另一某个下部电极以外的下部电极上的第一有机层，然后在露出的下部电极上形成第三有机层；和(5)在第一有机层到第三有机层上形成所述上部电极。根据本专利技术的制造方法，由于使其上形成第三颜色的有机层的下部电极表面经受干蚀刻处理或通过激光束的蚀刻处理的次数减少，因此第三颜色的有机层的下部电极表面的清洁度或平滑度的降低程度被减小。即使在形成第四颜色或后续颜色的有机层的情况下，也可以通过重复与第三颜色的处理相同的处理来防止下部电极的损伤。作为结果，可以减少有机EL显示装置的显示失效，可以提高发光效率，并可以降低驱动电压。根据以下参照附图对示例性实施例的详细描述，本专利技术的其它特征和方面将变得明显。附图说明包含于说明书中并构成其一部分的附图示出本专利技术的示例性实施例、特征和方面，并与描述一起用于解释本专利技术的原理。图1A、图1B、图1C、图1D、图1E、图1F和图1G示出根据本专利技术的第一示例性实施例的。图2A、图2B、图2C、图2D、图2E、图2F、图2G和图2H示出根据本专利技术的第二示例性实施例的。图3A、图3B、图3C、图3D、图3E、图3F、图3G、图3H和图3J示出根据本专利技术的第三示例性实施例的。图4是示出根据本专利技术的示例性实施例的有机EL显示装置的俯视图。具体实施方式以下将参照附图详细描述本专利技术的各种示例性实施例、特征和方面。通过根据本专利技术的方法制造的发光装置包括由有机电致发光元件代表的发光元件。有机电致发光元件包括包含下部电极与上部电极之间的有机物质的层，并且有机物质包含红色、蓝色或绿色之一的电致发光材料。发射这些不同颜色的光的三种类型的有机EL 元件被集成为一个组以构成像素。在有源矩阵显示装置的情况下，在基板上单独地形成多个下部电极，并独立地施加电压。上部电极共用于所有的发光元件。在无源矩阵的情况下， 上部电极和下部电极被形成为条带形状以彼此相交。在根据本专利技术的发光装置中，首先在基板上形成多个下部电极，并在其上面形成第一颜色的有机层。然后，某个下部电极上的第一颜色的有机层被去除，以露出下面的下部电极。在露出的下部电极上形成第二颜色的有机层。然后，与其上形成了第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种发光装置的制造方法，所述发光装置在基板上包含多个下部电极、第一有机层、第二有机层和第三有机层以及上部电极，第一有机层、第二有机层和第三有机层均被形成在所述下部电极中的一个上以发射相互不同的颜色的光，所述上部电极与所述下部电极相对以夹着第一有机层、第二有机层或第三有机层，所述制造方法包括：（1）在基板上形成所述多个下部电极；（2）在所述多个下部电极上形成第一有机层；（3）去除包含于所述多个下部电极中的某个下部电极上的第一有机层，以露出该下部电极同时保留除了所述某个下部电极以外的下部电极上的第一有机层，然后在露出的下部电极上形成第二有机层；（4）去除与所述某个下部电极不同的另一某个下部电极上的第一有机层，以露出该下部电极同时保留除了所述某个下部电极和所述另一某个下部电极以外的下部电极上的第一有机层，然后在露出的下部电极上形成第三有机层；和（5）在第一有机层到第三有机层上形成所述上部电极。

【技术特征摘要】
2011.09.30 JP 2011-2174451.一种发光装置的制造方法，所述发光装置在基板上包含多个下部电极、第一有机层、第二有机层和第三有机层以及上部电极，第一有机层、第二有机层和第三有机层均被形成在所述下部电极中的一个上以发射相互不同的颜色的光，所述上部电极与所述下部电极相对以夹着第一有机层、第二有机层或第三有机层，所述制造方法包括 (1)在基板上形成所述多个下部电极； (2)在所述多个下部电极上形成第一有机层； (3)去除包含于所述多个下部电极中的某个下部电极上的第一有机层，以露出该下部电极同时保留除了所述某个下部电极以外的下部电极上的第一有机层，然后在露出的下部电极上形成第二有机层； (4)去除与所述某个下部电极不同的另一某个下部电极上的第一有机层，以露出该下部电极同时保留除了所述某个下部电极和所述另一某个下部电极以外的下部电极上的第一有机层，然后在露出的下部电极上形成第三有机层；和 (5)在第一有机层到第三有机层上形成所述上部电极。2.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，(3)的处理包括 (3-1)去除所述某个下部电极上的第一有机层以露出该下部电极； (3-2)在所述某个下部电极上以及在保留于除了所述某个下部电极以外的下部电极上的第一有机层上形成第二有机层；和 (3-3)去除第一有机层上的第二有机层同时保留所述某个下部电极上的第二有机层。3.根据权利要求1或2所述的发光装置的制造方法，其中，(4)的处理包括 (4-1)去除所述另一某个下部电极上的第一有机层以露出该下部电极； (4-2)在所述另一某个下部电极上、在保留于所述某个下部电极上的第二有机层上、以及在保留于除了所述某个下部电极和所述另一某个下部电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：大重秀将，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：