【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光源设备、照明装置、曝光装置以及用于制造物品的方法。
技术介绍
1、在制造半导体设备或平板显示器(fpd)的处理中，使用曝光装置。在光刻处理中，曝光装置通过投影光学系统将原件(掩模版或掩模)上的图案转印到感光基板(其表面上形成有抗蚀剂层的晶片或玻璃板)上。
2、例如，使用汞灯作为投影曝光装置的光源。近年来，期望用节约能量的发光二极管(led)替换汞灯。在led中，从当电流被施加到控制来自led的发光的基板电路时到当光的输出变得稳定时的时间短。因此，led不需要如在汞灯中那样总是发射光，因此寿命也长。
3、然而，每个led的光输出远远小于汞灯的光输出。作为响应，在led被用作光源代替汞灯的情况下，必须使用多个led被排列在基板上的led阵列来使光的总输出大。
4、日本专利申请公开no.2018-22884公开了一种使用led作为光源的发光设备，并且公开了一种用于将多个led元件的放置角度彼此区分开从而使被照射面上的明暗不明显的技术。
5、如果在包括同一列中的以同一放置角度放置的多个...
【技术保护点】
1.一种照明光学系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的照明光学系统，其中，所述控制器包括第一控制器和第二控制器，所述第一控制器被配置成控制所述第一电路中的电流的量，所述第二控制器被配置成控制所述第二电路中的电流的量。
3.根据权利要求1所述的照明光学系统，
4.根据权利要求1所述的照明光学系统，
5.根据权利要求1所述的照明光学系统，其中，所述控制器被配置成控制所述第一电路中的电流的量和所述第二电路中的电流的量，使得从所述第一电路发射的光的强度与从所述第二电路发射的光的强度彼此不同以调整光强度分布。
<...【技术特征摘要】
1.一种照明光学系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的照明光学系统，其中，所述控制器包括第一控制器和第二控制器，所述第一控制器被配置成控制所述第一电路中的电流的量，所述第二控制器被配置成控制所述第二电路中的电流的量。
3.根据权利要求1所述的照明光学系统，
4.根据权利要求1所述的照明光学系统，
5.根据权利要求1所述的照明光学系统，...
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