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公开了光源设备、照明装置、曝光装置以及用于制造物品的方法。为了使包括发光二极管(LED)阵列的光源设备中的被照射面上的光强度分布均匀化，光源设备包括发光二极管(LED)阵列，该发光二极管阵列包括电路，该电路具有基板、该基板上的多个LED芯片...
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