【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微力传感器。
技术介绍
当前纳米技术已成功用于许多领域，包括医学、药学、化学及生物检测、制造业、光学以及国防等等，纳米操作技术是纳米技术的基础，随着纳米技术的快速发展，越来越多的应用领域需要多维高分辨率的微力传感器。目前纳米操作领域中应用的传感器多为一维高分辨率传感器，主要形式有压阻式、电容式、光学式等，这类传感器主要用来完成操作工具与基底之间的接触检测。在纳米操作过程中，为了提高工作效率、保护操作工具，不仅需要检测操作工具与基底之间接触力，同时还需要检测操作工具与操作对象之间作用力。一维高分辨率微力传感难以完成这一任务。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种基于MEMS的二维压阻式微力传感器，以解决目前一维微力传感器无法同时检测操作工具与基底之间接触力及操作工具与操作对象之间作用力的问题。本专利技术为解决上述技术问题采取的技术方案是所述传感器包括固定支架、检测直梁、外伸梁、锚点、二个半折叠梁、二个第一压阻和二个第二压阻，固定支架为矩形框架且固定支架的一对平行边框中的一个上开有第二通孔，检测直梁和二个半折叠梁均设在固定支架内，检测直梁的两端与固...
【技术保护点】
一种基于MEMS的二维压阻式微力传感器，其特征在于所述传感器包括固定支架(1)、检测直梁(2)、外伸梁(3)、锚点(7)、二个半折叠梁(4)、二个第一压阻(5)和二个第二压阻(6)，固定支架(1)为矩形框架且固定支架(1)的一对平行边框中的一个上开有第二通孔(1?1)，检测直梁(2)和二个半折叠梁(4)均设在固定支架(1)内，检测直梁(2)的两端与固定支架(1)固接且平行于开有第二通孔(1?1)的边框，检测直梁(2)侧壁的两端各设一个第一压阻(5)，每个半折叠梁(4)由第一直梁(4?1)、第二直梁(4?2)和桁架(4?3)构成，第一直梁(4?1)的一端与桁架(4?3)的一端...
【技术特征摘要】
1.一种基于MEMS的二维压阻式微力传感器，其特征在于所述传感器包括固定支架 (I)、检测直梁(2)、外伸梁(3)、锚点(7)、二个半折叠梁(4)、二个第一压阻(5)和二个第二压阻(6)，固定支架(I)为矩形框架且固定支架(I)的一对平行边框中的一个上开有第二通孔(1-1)，检测直梁⑵和二个半折叠梁⑷均设在固定支架⑴内，检测直梁⑵的两端与固定支架(I)固接且平行于开有第二通孔(1-1)的边框，检测直梁(2)侧壁的两端各设一个第一压阻(5)，每个半折叠梁(4)由第一直梁(4-1)、第二直梁(4-2)和桁架(4-3)构成，第一直梁(4-1)的一端与桁架(4-3)的一端连接且二者垂直设置，桁架(4-3)的另一端与第二直梁(4-2)的一端连接且第一直梁(4-1)和第二直梁(4-2)平行设置，二个半折叠梁(4)沿外伸梁(3)的中心轴线对称设置且第一直梁(4-1)的另一端与外伸梁(3)连接， 第二直梁(4-2)的长度小于第一直梁(4-1)的长...
【专利技术属性】
技术研发人员：荣伟彬，周杰，李东洁，王乐锋，张世忠，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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