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基于MEMS的二维压阻式微力传感器，它涉及一种微力传感器。该传感器解决目前一维微力传感器无法同时检测操作工具与基底之间接触力及操作工具与操作对象之间作用力的问题。检测直梁侧壁的两端各设一个第一压阻，二个半折叠梁沿外伸梁的中心轴线对称设置且第...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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