一种传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种压力传感器，传感器结构包括：数模转换器、压电执行器、膜片、衬底。压力测量的步骤如下：数模转换器为压电执行器施加阶梯式增加的电压；压电执行器驱动压力传感器的膜片弯曲；数模转换器为压电执行器施加阶梯式减小的电压；测量膜片上的压力。本发明专利技术可以避免膜片位置的不确定性问题，减小机械迟滞误差，改善压力传感器的测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器
，尤其涉及解决压力传感器机械迟滞性误差的结构和 方法。
技术介绍
压力传感器是工业生活中最常见的一种传感器，其广泛应用于各种领域，涉及自 动化生产、机床、管道、电力、交通监控、航空航天、石油石化、军工等众多行业。随着微机电 MEMS技术的发展，MEMS压力传感器的技术也得到了显著提高，传感器体积越来越小，测量 精度也得到了很大提高。然而对于测量高精度压力时，压力传感器自身的机械误差就不能忽视。施加在传 递压力的膜片上的压力从高至低降到压力值F时，和压力从低至高升到压力值F时，虽然最 终的压力值相同，但由于机械的迟滞特性，膜片此时在应力作用下的挠度是不同的，即传感 器膜片压力载荷的加载线与卸载线不完全重合。对于压力传感器，由于待测量的压力可能 不稳定，难以确定测得的电压信号是否对应真实的压力值，这就造成所测量的弹性膜片形 变对应的压力与实际的压力有偏差，采集到的压力信号精度不高。
技术实现思路
本专利技术提出的一种测量压力的传感器，其目的旨在克服现有技术所存在的上述缺 陷，降低由于机械迟滞性造成的误差，提高压力的测量精度。本专利技术的技术解决方案压力传感器由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成， 其中衬底上设置有膜片，压电执行器位于膜片的表面中央，数模转换器通过导线连接到压 电执行器上。本专利技术的有益之处在于相比于已有技术，本专利技术传感器在膜片上使用压电执行 器，驱动膜片弯曲使其在迟滞曲线的加载线或卸载线上，通过电压控制驱动力大小，方便有 效地控制膜片弯曲，避免膜片位置的不确定问题；使用数模转换器，在数字信号控制下输出 模拟信号，方便有效地调节压电执行器，达到提高测量精度的目的；本专利技术的传感器结构简 单，制造工艺简易，成本低，对于测量高精度的压力传感器，性价比较高。附图说明图1是本专利技术传感器的结构示意图。图2为本专利技术传感器的结构俯视示意图。图中数模转换器为1、压电执行器为2、膜片为3、衬底为4。具体实施方式实施例一对照图1，传感器由数模转换器1、压电执行器2、膜片3、衬底4组成，其中膜片3位于衬底4的上部，压电执行器2位于膜片3的上部，数模转换器I连接在压电执行器2的 上部，压电执行器2为压电膜片。对照图2，压电执行器2位于膜片3的表面中央，数模转换器I位于膜片3边缘，通 过导线连接到压电执行器2上，控制驱动力大小。实施例二对照图1，传感器由数模转换器1、压电执行器2、膜片3、衬底4组成，其中膜片3 位于衬底4的上部，压电执行器2位于膜片3的上部，数模转换器I连接在压电执行器2的 上部，压电执行器2为压电陶瓷。对照图2，压电执行器2位于膜片3的表面中央，数模转换器I位于膜片3边缘，通 过导线连接到压电执行器2上，控制驱动力大小。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传感器，其特征在于由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成，其中衬底上设置有膜片，压电执行器位于膜片的表面中央，数模转换器通过导线连接到压电执行器上。

【技术特征摘要】
1.一种传感器，其特征在于由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成，其中衬底上设置有膜片，压电执行器位于膜片的表面中央，数模转换器通过导线连接到压电执行器上。2.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李维平，刘清惓，黄标，周晓，佘德群，
申请(专利权)人：南京高华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：