【技术实现步骤摘要】
检漏仪用内部校准漏孔
本技术与氦质谱检漏仪的内置校准漏孔有关。
技术介绍
目前国内外氦质谱检漏仪所用的内置校准漏孔大多数采用薄膜渗透型，利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的，但温度对渗氦率的影响很大，温度系数为3%/°C左右，使用时需要进行修正，否则温度变化会对测试结果带来一定的影响。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单，使用方便，漏率稳定可靠的检漏仪用内部校准漏孔。本技术是这样实现的本技术检漏仪用内部校准漏孔，储气瓶I的一端与内套管3连接，内套管除了出口端5外，其余部分轴向位于储气瓶内储气瓶另一端通过气管与气源阀4连接，内套管内轴向有毛细管2，毛细管2的一端通过内套管端面上的小孔与储气瓶I相通，毛细管2的另一端与过滤盖6的内端面连接，过滤盖6的外螺纹与内套管3的出口端5的内螺纹配合。毛细管2与内套管端面上的小孔动配合，与过滤盖6内端面固连或与过滤盖6内端面的盲孔动配合。本技术结构简单，使用方便，漏率稳定可靠，受温度影响小。采用毛细管型，温度对漏率的影响很小，温度系数为O. 3%/K，使用时不需要进行修正，能够提供稳定可靠的氦气泄漏率。附图说明图1为本技术结构图。具体实施方式内套管3先与储气瓶I的一侧焊接，然后再焊接储气瓶I的另一侧；内套管3上有略大于毛细管2外径的小孔，毛细管插内套管3中，缝隙填入AB胶。过滤盖6通过螺纹与出口端5连接，过滤盖为6为烧结型，可以过滤外面的灰尘和水气。出口端5位于储气瓶I 外侧。本技术的工作原理根据一定压力下，毛细管两端存在压差，向外进行气体的泄漏。将气源阀4与高纯氦气瓶相连，打开气源阀4，向储气瓶I内充入O. 3Mp...
【技术保护点】
检漏仪用内部校准漏孔，其特征在于储气瓶（1）的一端与内套管（3）连接，内套管除了出口端（5）外，其余部分轴向位于储气瓶内，储气瓶另一端通过气管与气源阀（4）连接，内套管内轴向有毛细管（2），毛细管（2）的一端通过内套管端面上的小孔与储气瓶（1）相通，毛细管（2）的另一端与过滤盖（6）的内端面连接，过滤盖（6）的外螺纹与内套管（3）的出口端（5）的内螺纹配合。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张果，江鑫，朱思莲，袁阳，
申请(专利权)人：爱发科东方真空成都有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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