一种密封工件的氦质谱检漏方法技术

本发明专利技术公开了一种密封工件的氦质谱检漏方法，包括：提供一第一真空箱，将密封工件置于第一真空箱内；向第一真空箱内充注氦气，并进行密封保压；于第一真空箱内取出所述待检密封工件；提供一第二真空箱，将取出的密封工件置于第二真空箱内；对第二真空箱抽真空，并进行真空保压；利用氦质谱检漏仪对第二真空箱内的气体进行氦质谱检漏。本发明专利技术采用将氦分子压进抽出检测法，优点是检测灵敏度高，检漏精度高，根据被检封闭容器的耐压要求设定使用的含氦压力值，其压力越高，捡漏效率越高，能真实反映出被检封闭容器的泄漏量，不需专用的工装夹具，为提高生产效率，也可以多件同时检测，可以广泛用于温控发讯器等行业。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种密封工件的氦质谱检漏方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一第一真空箱，将待检密封工件置于所述第一真空箱内；向所述第一真空箱内充注氦气，并进行密封保压；于所述第一真空箱内取出所述待检密封工件；提供一第二真空箱，将取出的所述待检密封工件置于所述第二真空箱内；对所述第二真空箱抽真空，并进行真空保压；利用氦质谱检漏仪对所述第二真空箱内的气体进行氦质谱检漏，对所述待检密封工件进行密封检验。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张和毅，
申请(专利权)人：上海贤日自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31