本实用新型专利技术公开了一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。本实用新型专利技术检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于质谱仪领域，具体涉及一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪。
技术介绍
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。传统检漏仪不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，以解决上述方案中存在的不足。为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案为:一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。所述的质谱管上标准漏率棒与预抽阀之间设有吸枪口。所述的前级真空压力泵与前级泵之间设有检漏阀。本技术检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。【附图说明】图1为本技术的结构示意图；1-检漏口 ；2_检漏口压力阀；3_标准漏率棒4_质谱管；5_预抽阀；6_前级泵；7-前级真空压力泵；8分子泵；9_质谱仪。【具体实施方式】下面结合附图和【具体实施方式】对本技术作进一步地说明。如图1所示，一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，主要由检漏口 1、检漏口压力阀2、标准漏率棒3、质谱管4、预抽阀5、前级泵6、前级真空压力泵7、分子泵8和质谱仪9组成，所述的检漏口 I设置在质谱管4顶端、质谱管4右侧壁上端设有检漏口压力阀2、质谱管4上检漏口压力阀2下设有标准漏率棒3，前级泵6连接质谱管4，前级泵6上设有预抽阀5，前级真空压力泵7连接前级泵6，分子泵8连接前级真空压力泵7，质谱仪9连接分子泵8 ;所述的质谱管4上标准漏率棒3与预抽阀5之间设有吸枪口 ；所述的前级真空压力泵7与前级泵6之间设有检漏阀。【主权项】1.一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，其特征在于:所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。2.根据权利要求1所述的适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，其特征在于:所述的质谱管上标准漏率棒与预抽阀之间设有吸枪口。3.根据权利要求1所述的适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，其特征在于:所述的前级真空压力泵与前级泵之间设有检漏阀。【专利摘要】本技术公开了一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。本技术检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。【IPC分类】G01M3-20【公开号】CN204405271【申请号】CN201520097303【专利技术人】相鹏 【申请人】相鹏【公开日】2015年6月17日【申请日】2015年2月11日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪 ，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，其特征在于：所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：相鹏，
申请(专利权)人：相鹏，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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