超高灵敏度氦质谱检漏仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种超高灵敏度氦质谱检漏仪，所述的超高灵敏度氦质谱检漏仪，包括离子源、质谱室、分子泵、机械泵，电控系统，所述的分子泵通过抽气口与质谱室连接，所述的分子泵在上、中、下部位设有三个气口，构成大、中、微漏气流通路；同时将放大器放在质谱室外并采用温差电制冷组件（又称帕尔贴）制冷，极大地提高了仪器的检测灵敏度。本实用新型专利技术结构简单，使用寿命长，自动化程度高，检测范围宽，检测灵敏度高，具有良好的应用前景。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种分析仪器设备，尤其是一种超高灵敏度氦质谱检漏仪。
技术介绍
氦质谱检漏仪是一种常规的分析仪器设备，在国内外均广泛运用，如在电力行业，真空行业，核工业，制冷行业等。氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，是真空检漏技术中用的最普遍的检漏仪器。在科学技术的不断发展的时代，氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定 一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使仪器自身的更新；另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足。传统的氦质谱检漏仪包括离子源、质谱室、分子泵等结构，目前市场上的氦质谱检漏仪的特点为便于携带，适应高压强环境下工作环境。但现有的氦质谱检漏仪还有很多缺点，如检漏范围窄，检测灵敏度差，自动化程度低，检测效率低等，这些缺点都很大程度上限制了氦质谱检漏仪的运用范围。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种检漏范围宽，检测灵敏度高，自动化程度高的氦质谱检漏仪。为了达到上述的目的，本技术的技术方案为一种超高灵敏度氦质谱检漏仪，包括离子源、质谱室、分子泵、机械泵、放大器和电控系统，所述的分子泵通过抽气口与质谱室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超高灵敏度氦质谱检漏仪，包括离子源、质谱室、分子泵、机械泵、放大器和电控系统，所述的分子泵通过抽气口与质谱室连接，其特征在于：所述的分子泵在上、中、下部位设三个气口，所述的上进气口通过上管路中电磁阀连通检漏口，构成微漏气流通路；所述的中进气口通过中管路中电磁阀通检漏口，构成中漏气流通路；所述的下出气口通过下管路中一个电磁阀与机械泵连接，构成大漏气流通路；所述的检漏口通过管路同真空计连接，所述的检漏口同下管路之间有一电磁阀，所述的下出气口通过管路与规管连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄文平，张志，
申请(专利权)人：合肥皖仪科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：34[中国|安徽]