超高灵敏度氦质谱检漏仪的可更换离子源连接结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种超高灵敏度氦质谱检漏仪的可更换离子源连接结构，包括有离子源、法兰盘和质谱室，所述的离子源是由灯丝、离化室和离子加速极组成且焊接在所述的法兰盘上，将离子源从所述的质谱室一侧的开口处伸入到质谱室内，通过一真空密封法兰将法兰盘与质谱室固定连接，所述的法兰盘与质谱室之间设置有弹性密封圈。本实用新型专利技术在法兰盘与质谱室之间采用了无氧铜密封圈，由于两两接触面之间均为面面接触，增大了密封体接触面积，提高了氦质谱真空腔体的真空等级，从而满足超高灵敏度氦质谱检漏仪的工作需要。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空工作环境的分析仪器及设备，尤其涉及一种用于真空检测的超高灵敏度的氦质谱检漏仪的可更换离子源连接结构。
技术介绍
氦质谱检漏仪是一种基于质谱原理的用于真空测量及检漏的分析仪器，在国内外均广泛运用，如在电力行业，真空镀膜行业，核工业，制冷行业等。氦质谱检漏仪利用稀有气体氦气作为示踪标记物，由于大气中的氦气含量稀少，且氦气为惰性气体，从而可以认为大气中氦气本底接近于零。在实际检测中，人为的在疑似泄漏处的一侧提高氦气的浓度，若存在泄漏，则泄漏处的另一侧氦气浓度会相应提高，使用氦质谱检漏仪的进样装置导入泄漏 的氦气到氦质谱检漏仪的电离区域(通常使用电子轰击离子源)进行氦离子电离。电离后的氦离子经过磁场、电场或者二者复合场的分离后(通常使用扇形磁场)，特异性的轰击到探测器端(通常使用法拉第圆筒)，从而产生检测信号。氦质谱检漏仪是真空检漏技术中应用的高端检漏仪器。由于科学技术的不断发展，氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。对氦质谱检漏仪的最小检测漏率这一关键技术指标的提升是氦质谱检漏仪研发的主要方向，目前氦质谱检漏仪的最小检测漏率为1.0X 10_12PaM3/S。在一些苛刻的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超高灵敏度氦质谱检漏仪的可更换离子源连接结构，包括有离子源、法兰盘和质谱室，所述的离子源是由灯丝、离化室和离子加速极组成且焊接在所述的法兰盘上，将离子源从所述的质谱室一侧的开口处伸入到质谱室内，通过一真空密封法兰将法兰盘与质谱室固定连接，其特征在于：所述的法兰盘与质谱室之间设置有弹性密封圈。

【技术特征摘要】
1.一种超高灵敏度氦质谱检漏仪的可更换离子源连接结构，包括有离子源、法兰盘和质谱室，所述的离子源是由灯丝、离化室和离子加速极组成且焊接在所述的法兰盘上，将离子源从所述的质谱室一侧的开口处伸入到质谱室内，通过一真空密封法兰将法兰盘与...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晨光，胡眉，
申请(专利权)人：安徽皖仪科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：