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本实用新型公开了一种超高灵敏度氦质谱检漏仪的可更换离子源连接结构，包括有离子源、法兰盘和质谱室，所述的离子源是由灯丝、离化室和离子加速极组成且焊接在所述的法兰盘上，将离子源从所述的质谱室一侧的开口处伸入到质谱室内，通过一真空密封法兰将法兰盘...
该专利属于安徽皖仪科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽皖仪科技股份有限公司授权不得商用。

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