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本实用新型公开了一种超高灵敏度氦质谱检漏仪，所述的超高灵敏度氦质谱检漏仪，包括离子源、质谱室、分子泵、机械泵，电控系统，所述的分子泵通过抽气口与质谱室连接，所述的分子泵在上、中、下部位设有三个气口，构成大、中、微漏气流通路；同时将放大器放在...
该专利属于合肥皖仪科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥皖仪科技有限公司授权不得商用。

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