【技术实现步骤摘要】
_种氦测盲板
本专利技术属于机械制造业
,特别是涉及一种氦测盲板。适用于1C装备(半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备)制造业的腔体氦测治具。
技术介绍
目前1C装备制造行业中需要氦测的焊接腔体比较多,对于腔体上的一般孔而言,比较容易密封。但是对于孔尺寸在10-30mm范围且其周围无螺纹孔的小孔而言,氦测时盲板固定困难且其密封性差,容易影响腔体焊缝的检漏。鉴于上述情况,有必要设计一种既可以固定、又方便紧锁并且不易损伤零件的氦测盲板。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题,本专利技术的目的是提供一种氦测盲板,它既可以固定、又方便紧锁并且不易损伤零件。 本专利技术的目的是通过如下技术方案实现的: 本专利技术一种氦测盲板,包括不规则圆形盲板、螺纹圆柱、塑料垫片和螺母,所述不规则圆形盲板的圆形侧壁两对称部位为平面,中心部位开有与螺纹圆柱配合的中心螺纹孔,所述不规则圆形盲板带有中心螺纹孔的端面开有容置密封圈的密封槽,氦测时,螺纹圆柱一端与不规则圆形盲板连接,另一端穿过待测腔体孔,通过所述垫片和螺母与螺纹圆柱配合连接。 进一步地,所述螺纹圆柱的侧壁两对称部位为平面,圆弧面侧壁上带有螺纹。 进一步地,所述螺纹圆柱伸出待测腔体孔的长度20_30mm。 进一步地,所述垫片与螺母的外径均大于待测腔体孔的孔径5-10mm。 本专利技术的有益效果是: 1.本专利技术各个部分都可以避免与其接触的零件受到损伤。其中用于放置密封圈的盲板,盲板两侧的平面有利于工具紧锁,保证了氦测时腔体内所需要的密封性。其螺纹圆柱侧壁的 ...
【技术保护点】
一种氦测盲板,其特征在于:包括不规则圆形盲板、螺纹圆柱、塑料垫片和螺母,所述不规则圆形盲板的圆形侧壁两对称部位为平面,中心部位开有与螺纹圆柱配合的中心螺纹孔,所述不规则圆形盲板带有中心螺纹孔的端面开有容置密封圈的密封槽,氦测时,螺纹圆柱一端与不规则圆形盲板连接,另一端穿过待测腔体孔,通过所述垫片和螺母与螺纹圆柱配合连接。
【技术特征摘要】
1.一种氦测盲板,其特征在于:包括不规则圆形盲板、螺纹圆柱、塑料垫片和螺母,所述不规则圆形盲板的圆形侧壁两对称部位为平面,中心部位开有与螺纹圆柱配合的中心螺纹孔,所述不规则圆形盲板带有中心螺纹孔的端面开有容置密封圈的密封槽,氦测时,螺纹圆柱一端与不规则圆形盲板连接,另一端穿过待测腔体孔,通过所述垫片和螺母与螺纹圆...
【专利技术属性】
技术研发人员:安朋娜,
申请(专利权)人:沈阳富创精密设备有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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